美國(guó)OAI INSTRUMENTS光刻機(jī)
天津賽力斯自動(dòng)化科技有限公司專業(yè)經(jīng)銷美國(guó)OAI INSTRUMENTS曝光機(jī)、OAI INSTRUMENTS光刻機(jī)、OAI INSTRUMENTS光源、OAI INSTRUMENTS、OAI INSTRUMENTS光功率計(jì)、OAI INSTRUMENTS分析儀。歡迎有需求的客戶前來(lái)咨詢、洽談！
OAI INSTRUMENTS是業(yè)內(nèi)生產(chǎn)可靠并精密設(shè)備的MEMS，半導(dǎo)體，納米技術(shù)，潔凈室自動(dòng)化和紫外線光測(cè)量的優(yōu)秀制造商。OAI系統(tǒng)可同時(shí)用于研發(fā)和生產(chǎn)半導(dǎo)體，MEMS和微流體裝置。從光罩對(duì)準(zhǔn)和UV光源UV電力儀表，OAI是在同行業(yè)中的領(lǐng)先者超過35年。OAI光功率計(jì)以其測(cè)量精度，重復(fù)性著稱，測(cè)量數(shù)據(jù)符合美國(guó)NIST標(biāo)準(zhǔn)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻能量測(cè)量及控制。
產(chǎn)品范圍：
美國(guó)OAI INSTRUMENTS曝光機(jī)、OAI INSTRUMENTS光刻機(jī)、OAI INSTRUMENTS光源、OAI INSTRUMENTS、OAI INSTRUMENTS光功率計(jì)、OAI INSTRUMENTS分析儀
主要型號(hào)：
Model 306、Model 308、Model 311、Model 316、Model 317、Model 356、Model 357、Model 358、Model 457、Model 458、Model 459
美國(guó)OAI INSTRUMENTS Model 800半自動(dòng)光刻機(jī)簡(jiǎn)介：
光刻方式：接近式，軟，硬，真空接觸式
曝光距離：0-3000μm
間隙調(diào)節(jié)步進(jìn)：1um
機(jī)械精度：1.5um
光刻精度：軟接觸2um,硬接觸小于1um
美國(guó)OAI INSTRUMENTS Model 6000全自動(dòng)光刻機(jī)技術(shù)規(guī)格：
光刻方式：接近式，軟，硬，真空接觸式
曝光分辨率：
真空接觸:0.5-0.8um
硬接觸:0.8-1.0um
軟接觸:1.0-3.0um
接近式(20um 間隙):3.0um
曝光均勻性：優(yōu)于±3%
對(duì)準(zhǔn)精度：頂面0.5um，底面1.0um（選件）
