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產(chǎn)品價(jià)格:¥電議
上架日期:2015-10-23 10:50:42
產(chǎn)地:美國(guó)
發(fā)貨地:廣州
供應(yīng)數(shù)量:不限
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    粘貼型壓阻式力敏傳感器由四只半導(dǎo)體應(yīng)變片接成全橋形式,用粘合劑貼在彈性元件上構(gòu)成,它具有很高的應(yīng)變靈敏系數(shù),一般為20~200,因此輸出高,輸出靈敏度一般為15~0mV/V,但易發(fā)生零點(diǎn)漂移與蠕變,同時(shí)還存在半導(dǎo)體應(yīng)變片和彈性元件熱膨脹所帶來(lái)的溫度漂移等影響。擴(kuò)散型壓阻式力敏傳感器大都采用單晶硅和半導(dǎo)體平面工藝制成的。一般以N 型硅為襯底,采用氧化、擴(kuò)散等工藝將硼原子沿給定的晶向擴(kuò)散到n 型硅襯底材料中,形成P 型擴(kuò)散層。 

      結(jié)果硼擴(kuò)散區(qū)便形成應(yīng)變電阻,并用襯底形成一個(gè)整體,當(dāng)它受到壓力作用時(shí),應(yīng)變電阻發(fā)生變化,從而使輸出發(fā)生變化。 

      壓阻式力敏傳感器有靈敏度高、精度高、體積小、重量輕、工作頻率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、工作可靠、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。 

      電容式力敏傳感器近來(lái)得到了迅速發(fā)展,這種傳感器的核心部分是對(duì)壓力敏感的電容器。力敏電容器的電容量是由電極面積和兩個(gè)電極間的距離決定。 

      當(dāng)硅膜片兩邊存在壓力差時(shí),硅膜片產(chǎn)生形變,電容器極板間的間距發(fā)生變化,從而引起電容量的變化。這樣,電容變化量與壓差有關(guān),因此,就可作為力敏傳感器。它與壓阻式力敏傳感器相比,具有靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、壓力量程大等特點(diǎn)。表5-1 是按工作原理對(duì)力敏傳感器進(jìn)行分類,本章主要介紹半導(dǎo)體應(yīng)變片構(gòu)成的力敏傳感器的應(yīng)用技術(shù)。


     

     

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