美國(guó)CELTRON STC稱重傳感器S型稱重傳感器:
STC-5kg,STC-10kg,STC-25kg,STC-50kg,STC-75kg,STC-100kg,STC-250kg,STC-500kg,STC-750kg,STC-1t,STC-1.5t,STC-2t,STC-2.5t,STC-5t,STC-7.5t,STC-10t,STC-20t
STC-50kgSS,STC-75kgSS,STC-100kgSS,STC-250kgSS,STC-500kgSS,STC-750kgSS,STC-1t SS,STC-1.5Tss,STC-2tSS,STC-2.5tSS,STC-5tSS,STC-7.5tSS,STC-10tSS,STC-20tSS
STC-50kgXS,STC-75kgXS,STC-100kgXS,STC-250kgXS,STC-500kgXS,STC-750kgXS
STC-50lb,STC-100lb,STC-150lb,STC-200lb,STC-300lb,STC-500lb,STC-750lb,STC-1Klb,STC-1.5Klb,STC-2Klb,STC-2.5Klb,STC-3Klb,STC-5Klb,STC-7.5Klb,STC-10Klb,STC-15Klb,STC-30Klb,STC-40Klb
美國(guó)CELTRON SQB稱重傳感器 懸臂梁式稱重傳感器:
SQB-250kg,SQB-500kg,SQB-1t,SQB-1.5t,SQB-2t,SQB-2.5t,SQB-5t
SQB-250kgSS,SQB-500kgSS,SQB-1tSS,SQB-1.5tSS,SQB-2tSS,SQB-2.5tSS,SQB-5TSS
SQB-500lb,SQB-1Klb,SQB-2Klb,SQB-2.5Klb,SQB-3Klb,SQB-4Klb,SQB-5KSE,SQB-5Klb,SQB-10Klb,SQB-15Klb,SQB-20Klb
美國(guó)CELTRON MBB梁式稱重傳感器:
MBB-25kg,MBB-50kg,MBB-75kg,MBB-125kg
MBB-50lb,MBB-100lb,MBB-150lb,MBB-250lb
美國(guó)CELTRON HBB梁式稱重傳感器
HBB-10kg,HBB-20kg,HBB-50kg,HBB-100kg,HBB-200kg,HBB-250kg
HBB-10kgSS,HBB-20kgSS,HBB-50kgSS,HBB-100kgSS,HBB-200kgSS,HBB-250kgSS
粘貼型壓阻式力敏傳感器由四只半導(dǎo)體應(yīng)變片接成全橋形式,用粘合劑貼在彈性元件上構(gòu)成,它具有很高的應(yīng)變靈敏系數(shù),一般為20~200,因此輸出高,輸出靈敏度一般為15~0mV/V,但易發(fā)生零點(diǎn)漂移與蠕變,同時(shí)還存在半導(dǎo)體應(yīng)變片和彈性元件熱膨脹所帶來(lái)的溫度漂移等影響。擴(kuò)散型壓阻式力敏傳感器大都采用單晶硅和半導(dǎo)體平面工藝制成的。一般以N 型硅為襯底,采用氧化、擴(kuò)散等工藝將硼原子沿給定的晶向擴(kuò)散到n 型硅襯底材料中,形成P 型擴(kuò)散層。
結(jié)果硼擴(kuò)散區(qū)便形成應(yīng)變電阻,并用襯底形成一個(gè)整體,當(dāng)它受到壓力作用時(shí),應(yīng)變電阻發(fā)生變化,從而使輸出發(fā)生變化。
壓阻式力敏傳感器有靈敏度高、精度高、體積小、重量輕、工作頻率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、工作可靠、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。
電容式力敏傳感器近來(lái)得到了迅速發(fā)展,這種傳感器的核心部分是對(duì)壓力敏感的電容器。力敏電容器的電容量是由電極面積和兩個(gè)電極間的距離決定。
當(dāng)硅膜片兩邊存在壓力差時(shí),硅膜片產(chǎn)生形變,電容器極板間的間距發(fā)生變化,從而引起電容量的變化。這樣,電容變化量與壓差有關(guān),因此,就可作為力敏傳感器。它與壓阻式力敏傳感器相比,具有靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、壓力量程大等特點(diǎn)。表5-1 是按工作原理對(duì)力敏傳感器進(jìn)行分類,本章主要介紹半導(dǎo)體應(yīng)變片構(gòu)成的力敏傳感器的應(yīng)用技術(shù)。