什么是壓力傳感器
力敏傳感器是使用最廣泛的一種傳感器，它是檢測(cè)氣體、液體、固體等所有物質(zhì)間作用力能量的總稱，也包括測(cè)量高于大氣壓的壓力計(jì)以及測(cè)量低于大氣壓的真空計(jì)。力敏傳感器的種類甚多、傳統(tǒng)的測(cè)量方法是利用彈性元件的形變和位移來表示，但它的體積大、笨重、輸出非線性。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性，研制出半導(dǎo)體力敏傳感器，主要有硅壓阻式和電容式兩種，它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)，因此半導(dǎo)體力敏傳感器得到廣泛應(yīng)用。當(dāng)對(duì)一塊半導(dǎo)體在某一晶向上施加應(yīng)力時(shí)，其電阻率會(huì)產(chǎn)生一定的變化。這種導(dǎo)體電阻率變化和應(yīng)力之間的相互關(guān)系稱為半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)，利用此效應(yīng)制成的力學(xué)量傳感器稱為壓阻式力敏傳感器，它有兩種類型，一類是將半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)粘貼在彈性元件上制成的傳感器，稱為粘貼型壓阻式傳感器，另一類是在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴(kuò)散電阻，使應(yīng)變計(jì)與硅襯底形成同一整體的傳感器，稱為擴(kuò)散型壓阻式傳感 器。
粘貼型壓阻式力敏傳感器由四只半導(dǎo)體應(yīng)變片接成全橋形式，用粘合劑貼在彈性元件上構(gòu)成，它具有很高的應(yīng)變靈敏系數(shù)，一般為20～200，因此輸出高，輸出靈敏度一般為15～0mV/V，但易發(fā)生零點(diǎn)漂移與蠕變，同時(shí)還存在半導(dǎo)體應(yīng)變片和彈性元件熱膨脹所帶來的溫度漂移等影響。擴(kuò)散型壓阻式力敏傳感器大都采用單晶硅和半導(dǎo)體平面工藝制成的。一般以N 型硅為襯底，采用氧化、擴(kuò)散等工藝將硼原子沿給定的晶向擴(kuò)散到n 型硅襯底材料中，形成P 型擴(kuò)散層。
美國(guó)CELTRON LCD輪輻式傳感器：
LCD-2.5t，LCD-5t，LCD-10t，LCD-25t
LCD-50t，LCD-60t，LCD-100t，LCD-150t
LCD-5Klb，LCD-10Klb，LCD-25Klb，LCD-50Klb，LCD-100Klb
美國(guó)CELTRON PSD輪輻式傳感器:
PSD-2.5t，PSD-5t，PSD-10t，PSD-25t
美國(guó)CELTRON HCD輪輻式傳感器:
HCD-2.5t HCD-5t HCD-10t HCD-25t
HCD-50t HCD-60t HCD-100t HCD-150t
HCD-25Klb HCD-50Klb HCD-100Klb
美國(guó)CELTRON MDB/MDBD橋式稱重傳感器:
MDB-10t，MDB-20t，MDB-25t，MDB-30t，MDB-40t
MDBD-10t，MDBD-20t，MDBD-25t，MDBD-30t
美國(guó)CELTRON LPS單點(diǎn)式稱重傳感器：
LPS-0.6kg，LPS-1kg，LPS-2kg，LPS-3kg，LPS-6kg，LPS-10kg，LPS-15kg，LPS-20kg，LPS-30kg，LPS-35kg，LPS-60kg，LPS-100kg，LPS-200kg
