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力敏傳感器是使用最廣泛的一種傳感器，它是檢測氣體、液體、固體等所有物質(zhì)間作用力能量的總稱，也包括測量高于大氣壓的壓力計以及測量低于大氣壓的真空計。力敏傳感器的種類甚多、傳統(tǒng)的測量方法是利用彈性元件的形變和位移來表示，但它的體積大、笨重、輸出非線性。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性，研制出半導(dǎo)體力敏傳感器，主要有硅壓阻式和電容式兩種，它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優(yōu)點，因此半導(dǎo)體力敏傳感器得到廣泛應(yīng)用。當(dāng)對一塊半導(dǎo)體在某一晶向上施加應(yīng)力時，其電阻率會產(chǎn)生一定的變化。這種導(dǎo)體電阻率變化和應(yīng)力之間的相互關(guān)系稱為半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)，利用此效應(yīng)制成的力學(xué)量傳感器稱為壓阻式力敏傳感器，它有兩種類型，一類是將半導(dǎo)體應(yīng)變計粘貼在彈性元件上制成的傳感器，稱為粘貼型壓阻式傳感器，另一類是在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴(kuò)散電阻，使應(yīng)變計與硅襯底形成同一整體的傳感器，稱為擴(kuò)散型壓阻式傳感 器。
粘貼型壓阻式力敏傳感器由四只半導(dǎo)體應(yīng)變片接成全橋形式，用粘合劑貼在彈性元件上構(gòu)成，它具有很高的應(yīng)變靈敏系數(shù)，一般為20～200，因此輸出高，輸出靈敏度一般為15～0mV/V，但易發(fā)生零點漂移與蠕變，同時還存在半導(dǎo)體應(yīng)變片和彈性元件熱膨脹所帶來的溫度漂移等影響。擴(kuò)散型壓阻式力敏傳感器大都采用單晶硅和半導(dǎo)體平面工藝制成的。一般以N 型硅為襯底，采用氧化、擴(kuò)散等工藝將硼原子沿給定的晶向擴(kuò)散到n 型硅襯底材料中，形成P 型擴(kuò)散層。
結(jié)果硼擴(kuò)散區(qū)便形成應(yīng)變電阻，并用襯底形成一個整體，當(dāng)它受到壓力作用時，應(yīng)變電阻發(fā)生變化，從而使輸出發(fā)生變化。
壓阻式力敏傳感器有靈敏度高、精度高、體積小、重量輕、工作頻率高、結(jié)構(gòu)簡單、工作可靠、壽命長等特點。
電容式力敏傳感器近來得到了迅速發(fā)展，這種傳感器的核心部分是對壓力敏感的電容器。力敏電容器的電容量是由電極面積和兩個電極間的距離決定。
美國CELTRON HOC單點式稱重傳感器:
HOC-750kg，HOC-1000kg，HOC-2000kg
美國CELTRON DSR/DSR-SS梁式稱重傳感器:
DSR-1Klb，DSR-1.5Klb，DSR-2Klb，DSR-2.5Klb，DSR-3.5Klb，DSR-10Klb，DSR-15Klb，DSR-20Klb，KDR-25Klb，DSR-50Klb，DSR-75Klb
DSR-5KSS，DSR-10KSS，DSR-25KSS，DSR-50KSS，DSR-75KSS，DSR-HSS
美國CELTRON DLB梁式稱重傳感器:
DLB-25K lb DSR-40K lb DSR-50K lb DSR-60K lb DSR-75K lb DSR-100K lb DSR-125K lb
美國CELTRON CLB梁式稱重傳感器:
CLB-20K lb CLB-25K lb CLB-40K lb CLB-50K lb CLB-60K lb CLB-75K lb CLB-100K lb CLB-125K lb
美國CELTRON CSB梁式稱重傳感器:
CSB-5K lb CSB-10K lb CSB-20K lb CSB-30K lb CSB-40K lb CSB-50K lb CSB-60K lb CSB-100K lb CSB-150K lb
