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什么是壓力傳感器
力敏傳感器是使用最廣泛的一種傳感器,它是檢測氣體、液體、固體等所有物質(zhì)間作用力能量的總稱,也包括測量高于大氣壓的壓力計以及測量低于大氣壓的真空計。力敏傳感器的種類甚多、傳統(tǒng)的測量方法是利用彈性元件的形變和位移來表示,但它的體積大、笨重、輸出非線性。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展,利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性,研制出半導(dǎo)體力敏傳感器,主要有硅壓阻式和電容式兩種,它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優(yōu)點,因此半導(dǎo)體力敏傳感器得到廣泛應(yīng)用。當對一塊半導(dǎo)體在某一晶向上施加應(yīng)力時,其電阻率會產(chǎn)生一定的變化。這種導(dǎo)體電阻率變化和應(yīng)力之間的相互關(guān)系稱為半導(dǎo)體壓阻效應(yīng),利用此效應(yīng)制成的力學(xué)量傳感器稱為壓阻式力敏傳感器,它有兩種類型,一類是將半導(dǎo)體應(yīng)變計粘貼在彈性元件上制成的傳感器,稱為粘貼型壓阻式傳感器,另一類是在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴散電阻,使應(yīng)變計與硅襯底形成同一整體的傳感器,稱為擴散型壓阻式傳感 器。
粘貼型壓阻式力敏傳感器由四只半導(dǎo)體應(yīng)變片接成全橋形式,用粘合劑貼在彈性元件上構(gòu)成,它具有很高的應(yīng)變靈敏系數(shù),一般為20~200,因此輸出高,輸出靈敏度一般為15~0mV/V,但易發(fā)生零點漂移與蠕變,同時還存在半導(dǎo)體應(yīng)變片和彈性元件熱膨脹所帶來的溫度漂移等影響。擴散型壓阻式力敏傳感器大都采用單晶硅和半導(dǎo)體平面工藝制成的。一般以N 型硅為襯底,采用氧化、擴散等工藝將硼原子沿給定的晶向擴散到n 型硅襯底材料中,形成P 型擴散層。
供應(yīng)德國HBM S型傳感器RSC系列
RSCAC1/50KG,RSCAC1/100KG,RSCAC1/200KG,RSCAC1/500KG,RSCAC1/1T,RSCAC1/2T,RSCAC1/5T
RSCAC3/500KG,RSCAC3/1T,RSCAC3/2T,RSCAC3/5T
RSCBC1/200KG,RSCBC1/500KG,RSCBC1/1T,RSCBC1/2T,RSCBC1/5T
RSCBC3/200KG,RSCBC3/500KG,RSCBC3/1T,RSCBC3/2T,RSCBC3/5T,ATEX
供應(yīng)德國HBM傳感器U2A系列
U2A/50KG U2A/100KG U2A/200KG U2AD1/500KG U2AD1/1T
U2AD1/2T U2AD1/5T U2A/10T U2A/20T
K-Exi-Test 120℃:U2A0.2/50KG U2A0.1/100KG U2A0.1/200KG U2A0.1/500KG
U2A0.1/10T U2A0.1/20T
稱重模塊系列
C16/MSL20T(D1精度)鍍鋅 C16/MSL20T(C3精度)鍍鋅 C16/MSL30T鍍鋅
C16/MSL40T鍍鋅 C16/MSL60T鍍鋅 C16/MSL100T鍍鋅 C16/MSL200T鍍鋅
C16/MSLR20T不銹鋼 C16/MSLR30T不銹鋼 C16/MSLR40T不銹鋼
C16/MSLR60T不銹鋼 C16/MSLR100T不銹鋼 C16/MSLR200T不銹鋼
HLC/MLB220KG鍍鋅 HLC/MLB550KG鍍鋅 HLC/MLB1100KG鍍鋅
HLC/MLB1760KG鍍鋅 HLC/MLB2200KG鍍鋅 HLC/MLB4400KG鍍鋅
HLC/MLBR220KG不銹鋼 HLC/MLBR550KG不銹鋼 HLC/MLBR1100KG不銹鋼
HLC/MLBR1760KG不銹鋼 HLC/MLBR2200KG不銹鋼 HLC/MLBR4400KG不銹鋼
RTNMAR1T,2.2T RTNMAR4.7T RTNMAR10T,15T,22T RTNMA33T(鍍鋅)
RTNMLAR1T,2.2T RTNMLAR4.7T RTNMLAR10T,15T,22T RTNMLA33T(鍍鋅)
RTNMBR1T,2.2T RTNMBR4.7T RTNMBR10T,15T,22T RTNMB33T(鍍鋅)
RTNMLBR1T,2.2T RTNMLBR4.7T RTNMLBR10T,15T,22T
RTNMLB33T(鍍鋅)