供應(yīng)德國HBM傳感器FIT系列
FIT/H1SR2/5KG FIT/H1SR2/10KG FIT/H1SR2/20KG FIT/H1SR2/50KG
FIT/H1SR2/75KG FIT/H1SR5/5KG FIT/H1SR5/10KG FIT/H1SR5/20KG
FIT/H1SR5/50KG FIT/H1SR5/75KG FIT/H1DR2/5K FIT/H1DR2/10K
FIT/H1DR2/20K FIT/H1DR2/50K FIT/H1DR2/75K FIT/H1DR5/5K
FIT/H1DR5/10K FIT/H1DR5/20K FIT/H1DR5/50K FIT/H1DR5/75K
PW18iSR2/5KG PW18iSR2/10KG PW18iSR2/20KG PW18iSR2/50KG
PW18iSR2/75KG PW18iSR5/5KG PW18iSR5/10KG PW18iSR5/20KG
PW18iSR5/50KG PW18iSR5/75KG PW18iDR2/5KG PW18iDR2/10KG
PW18iDR2/20KG PW18iDR2/50KG PW18iDR2/75KG PW18iDR5/5KG
PW18iDR5/10KG PW18iDR5/20KG PW18iDR5/50KG PW18iDR5/75KG
供應(yīng)德國HBM傳感器懸臂梁式HLC系列
HLCA1D1/220KG，HLCA1D1/550KG，HLCA1D1/1.1T，HLCA1D1/1.76T，HLCA1D1/2.2T，HLCA1D1/4.4T
HLCA1C3/220KG，HLCA1C3/550KG，HLCA1C3/1.1T，HLCA1C3/1.76T，HLCA1C3/2.2T，HLCA1C3/4.4T
HLCB1C3/220KG，HLCB1C3/550KG，HLCB1C3/1.1T，HLCB1C3/1.76T，HLCB1C3/2.2T，HLCB1C3/4.4T
HLCB1C4/220KG，HLCB1C4/550KG，HLCB1C4/1.1T，HLCB1C6/220KG，HLCB1C6/550KG，HLCB1C6/1.1T
HLCB1D1/220KG，HLCB1D1/550KG，HLCB1D1/1.1T，HLCB1D1/1.76T，HLCB1D1/2.2T，HLCB1D1/4.4T
HLCB1D1/10T，HLCB2C3/220KG，HLCB2C3/550KG，HLCB2C3/1.1T，HLCB2C3/1.76T，HLCB2C3/2.2T
HLCB2C3/4.4T，HLCF1C3/220KG，HLCF1C3/550KG，HLCF1C3/1.1T，HLCF1C3/1.76T
粘貼型壓阻式力敏傳感器由四只半導(dǎo)體應(yīng)變片接成全橋形式，用粘合劑貼在彈性元件上構(gòu)成，它具有很高的應(yīng)變靈敏系數(shù)，一般為20～200，因此輸出高，輸出靈敏度一般為15～0mV/V，但易發(fā)生零點(diǎn)漂移與蠕變，同時(shí)還存在半導(dǎo)體應(yīng)變片和彈性元件熱膨脹所帶來的溫度漂移等影響。擴(kuò)散型壓阻式力敏傳感器大都采用單晶硅和半導(dǎo)體平面工藝制成的。一般以N 型硅為襯底，采用氧化、擴(kuò)散等工藝將硼原子沿給定的晶向擴(kuò)散到n 型硅襯底材料中，形成P 型擴(kuò)散層。
結(jié)果硼擴(kuò)散區(qū)便形成應(yīng)變電阻，并用襯底形成一個(gè)整體，當(dāng)它受到壓力作用時(shí)，應(yīng)變電阻發(fā)生變化，從而使輸出發(fā)生變化。
壓阻式力敏傳感器有靈敏度高、精度高、體積小、重量輕、工作頻率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、工作可靠、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。
電容式力敏傳感器近來得到了迅速發(fā)展，這種傳感器的核心部分是對(duì)壓力敏感的電容器。力敏電容器的電容量是由電極面積和兩個(gè)電極間的距離決定。
當(dāng)硅膜片兩邊存在壓力差時(shí)，硅膜片產(chǎn)生形變，電容器極板間的間距發(fā)生變化，從而引起電容量的變化。這樣，電容變化量與壓差有關(guān)，因此，就可作為力敏傳感器。它與壓阻式力敏傳感器相比，具有靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、壓力量程大等特點(diǎn)。表5-1 是按工作原理對(duì)力敏傳感器進(jìn)行分類，本章主要介紹半導(dǎo)體應(yīng)變片構(gòu)成的力敏傳感器的應(yīng)用技術(shù)。
