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電容式壓力傳感器科學技術(shù)的不斷發(fā)展極大地豐富了壓力測量產(chǎn)品的種類,現(xiàn)在,壓力傳感器的敏感原理不僅有電容式、壓阻式、金屬應(yīng)變式、霍爾式、振筒式等等但仍以電容式、壓阻式和金屬應(yīng)變式傳感器最為多見。
金屬應(yīng)變式壓力傳感器是一種歷史較長的壓力傳感器,但由于它存在遲滯、蠕變及溫度性能差等缺點,其應(yīng)用場合受到了很大的限制。
壓阻式傳感器是利用半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)制造的一種新型的傳感器,它具有制造方便,成本低廉等特點,但由于半導(dǎo)體材料對溫度極為敏感,所以其性能受溫度影響較大,產(chǎn)品的一致性較差。