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AMAT 0041-32713產(chǎn)品簡介

AMAT 0041-32713是應(yīng)用材料公司（Applied Materials）開發(fā)的渦輪分子泵控制器卡，專為半導(dǎo)體制造設(shè)備的真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)，負(fù)責(zé)精密控制渦輪分子泵的轉(zhuǎn)速、壓力及流量參數(shù)，確保工藝腔室達(dá)到高真空環(huán)境。該產(chǎn)品兼容多品牌泵體，支持高可靠性運(yùn)行，是半導(dǎo)體刻蝕、薄膜沉積等工藝的核心控制模塊。

主要特點(diǎn)和優(yōu)勢

高精度真空控制：采用數(shù)字信號處理技術(shù)，實(shí)時(shí)監(jiān)測渦輪分子泵轉(zhuǎn)速與腔室壓力，精度達(dá)±0.1 Pa，滿足半導(dǎo)體工藝對真空環(huán)境的嚴(yán)苛要求。

多品牌兼容性：適配Pfeiffer、Edwards等主流品牌渦輪分子泵，支持模塊化配置，適配不同設(shè)備型號的泵體參數(shù)需求。

抗干擾設(shè)計(jì)：通過電磁屏蔽與信號隔離技術(shù)，抵御工業(yè)環(huán)境中的電磁干擾，確保控制信號穩(wěn)定傳輸。

智能故障診斷：內(nèi)置自檢功能，可識別泵體過載、軸承異常等故障，實(shí)時(shí)生成報(bào)警信息并建議維護(hù)策略。

長壽命與低維護(hù)：采用工業(yè)級元器件，工作壽命超過5萬小時(shí)，支持帶電熱插拔更換，減少停機(jī)時(shí)間。

技術(shù)規(guī)格

型號：0041-32713

功能定位：渦輪分子泵控制卡

控制參數(shù)：

轉(zhuǎn)速范圍：1000-120,000 RPM

壓力監(jiān)測范圍：10?3Pa至10?Pa

流量控制精度：±5%

通信接口：

工業(yè)總線：EtherCAT、Profibus-DP

人機(jī)界面：RS-485串口（Modbus協(xié)議）

環(huán)境參數(shù)：

工作溫度：0～60℃

防護(hù)等級：IP54（防塵防濺水）

電源要求：24V DC冗余供電，支持過壓/欠壓保護(hù)

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造：集成于刻蝕機(jī)、CVD（化學(xué)氣相沉積）設(shè)備，維持工藝腔室高真空環(huán)境，保障晶圓加工精度。

真空鍍膜：控制鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)，優(yōu)化薄膜均勻性與附著力。

科研設(shè)備：用于同步輻射光源、質(zhì)譜儀等高真空實(shí)驗(yàn)裝置，確保極端環(huán)境下的穩(wěn)定運(yùn)行。

工業(yè)清洗：支持真空清洗設(shè)備的壓力調(diào)控，提升清洗效率與潔凈度。

相關(guān)產(chǎn)品

AMAT ASM 192 T2D+控制器：與0041-32713協(xié)同工作，實(shí)現(xiàn)真空系統(tǒng)與工藝參數(shù)的聯(lián)動(dòng)控制。

Pfeiffer HiPace 400渦輪泵：適配0041-32713的高流量泵體，適用于大腔室真空環(huán)境。

Edwards AXI 400i真空計(jì)：提供壓力數(shù)據(jù)反饋，與0041-32713形成閉環(huán)控制鏈。