ESC靜電卡盤系統(tǒng)由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機(jī)具有漏電保護(hù)、電流過(guò)載保護(hù)及高壓脈沖保護(hù)；靜電吸附單元電極采用高頻導(dǎo)體，表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜，另外一種采用聚酰薄膜覆膜，在保證輸出穩(wěn)定，同時(shí)避免高壓靜電壓尖銳擊穿。靜電卡盤系統(tǒng)由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機(jī)具有漏電保護(hù)、電流過(guò)載保護(hù)及高壓脈沖保護(hù)；靜電吸附單元電極采用高頻導(dǎo)體，表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜，另外一種采用 PI薄膜覆膜，在保證輸出穩(wěn)定，同時(shí)避免高壓靜電壓尖銳擊穿。