| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 伊諾華科 | 型號 | HMDS-90 |
| 溫度范圍 | RT,25~200°C | 用途 | 半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前預處理 |
| 外形尺寸 | 其他 | ||
| 設備型號 | HMDS-90 |
| 溫度范圍 | RT+25~200°C |
| 溫度分辨率 | ±0.1°C |
| 極限真空度 | ＜10pa |
| 抽氣速率 | 4L/S 常壓~100pa時間＜5min |
| 氧含量 |
＜10ppm |
| 潔凈度 | class10 |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏（人機交互界面） |
| 內腔尺寸 | W450mm*D450mm*H450mm |
| 氮氣流量 | 0-100L/min |
| 電源功耗 | AC220V 50HZ 4.5KW |
| 箱體 | 3mm優(yōu)質SUS316#潔凈不銹鋼內膽 |
| 外殼 | SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆 |
| 保溫材料 | 環(huán)保無油型陶瓷纖維防火阻燃材料 |
| 安全保護措施 | 1.接地保護 2.過載保護 3.超溫保護 |
