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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
氫氧化鋯在多晶硅生產(chǎn)有高效的深度提純吸附劑
產(chǎn)品價(jià)格：￥31.00元/件
上架日期：2025-08-07
發(fā)貨地：山東 濟(jì)寧市
供應(yīng)數(shù)量：不限
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詳細(xì)說(shuō)明
    詳細(xì)參數(shù)
    品牌/廠家德盛稀土產(chǎn)品名稱氫氧化鋯
    純度級(jí)別優(yōu)級(jí)純GR用途類別標(biāo)準(zhǔn)品
    產(chǎn)品性狀固態(tài)粉末化學(xué)式H4O4Zr
    相對(duì)分子質(zhì)量250.477有效成分含量14475-63-9
    執(zhí)行質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)企標(biāo)安全性及措施密閉保存
    產(chǎn)品顏色白色粉末CAS其他
    包裝規(guī)格可按需包裝貯存方法陰涼干燥處密閉保存
    產(chǎn)地其他
    氫氧化鋯通過(guò)轉(zhuǎn)化為氧化鋯，在陶瓷領(lǐng)域主要用于制備高性能鋯基陶瓷和優(yōu)化其他陶瓷的結(jié)構(gòu)與性能，尤其在提升陶瓷的強(qiáng)度、韌性和耐高溫性方面發(fā)揮關(guān)鍵作用，廣泛應(yīng)用于結(jié)構(gòu)部件、功能器件及生物醫(yī)療等領(lǐng)域。
    氫氧化鋯在多晶硅生產(chǎn)中具有重要作用，主要體現(xiàn)在深度提純吸附和化學(xué)機(jī)械拋光兩個(gè)方面：

    • 深度提純吸附：在多晶硅生產(chǎn)中，氫氧化鋯是一種高效的深度提純吸附劑。多晶硅生產(chǎn)通常采用西門子法，以三氯氫硅為原料，通過(guò)氫氣還原在硅芯上沉積多晶硅。氫氧化鋯可以吸附去除三氯氫硅原料中的金屬離子和部分非金屬雜質(zhì)，如硼、磷等，為后續(xù)還原工序提供高純度原料，最終保障多晶硅的電學(xué)性能和產(chǎn)品質(zhì)量。
    • 化學(xué)機(jī)械拋光：在多晶硅的加工過(guò)程中，需要進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）來(lái)獲得平整的表面。氫氧化鋯可以作為拋光漿料中的磨料成分之一，它與氧化鋁、二氧化硅等其他磨料配合使用，通過(guò)化學(xué)反應(yīng)和機(jī)械研磨的共同作用，去除多晶硅表面的多余材料，實(shí)現(xiàn)表面平坦化。氫氧化鋯可以提供合適的研磨能力，有助于提高拋光效率和表面質(zhì)量，使多晶硅表面的粗糙度降低，滿足后續(xù)工藝要求，例如為半導(dǎo)體制造中的光刻等工藝提供良好的表面基礎(chǔ)
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