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產(chǎn)品簡介
供應日本VTEX品牌半導體超高鐘擺閥3PV類型 漏率低精度高
產(chǎn)品價格:¥7500.00元/件
上架日期:2021-07-30
發(fā)貨地:江蘇 蘇州市
供應數(shù)量:不限
最少起訂:1件
瀏覽量:1510
詳細說明
    詳細參數(shù)
    品牌日本VTEX型號鐘擺閥3PV
    材質(zhì)不銹鋼閥瓣開啟高度全程
    驅(qū)動方式氣動連接形式法蘭
    壓力環(huán)境類型低壓閥(PN<1.6Mpa)壓力環(huán)境高壓
    工作溫度區(qū)間45℃特殊功能可以調(diào)整電導
    外形尺寸110*34*45流動方向雙向
    介質(zhì)溫度90℃適用介質(zhì)空氣
    流動方向雙向類型(通道位置)直動式
    加工定制公稱通徑160-550
    適用范圍真空設備,半導體行業(yè)重量21KG
    產(chǎn)地日本


    IPV,3PV,APC類型
    ·一步到位的精準動作。
    ·簡單,構成組件少,擁有緊湊型節(jié)省空間的設計。
    ·標準規(guī)格擁有50萬次動作的設計壽命,高耐久,無需檢修的設計。
    ·閥體的密封件一律采用O型圈。為降低成本做出貢獻。
    ·閥體的拆解只需松開1根螺栓即可。
    APC控制盒
    ·搭載可以計算出腔室容積的LEARN功能。
    ·可實現(xiàn)高速的正確壓力控制,位置控制。
    ·可同時連接2臺壓力傳感器。
    ·排氣系列門閥:真空泵-腔室之間的門閥,也有作為控制壓力的閥門使用。
    ·搬運系列門閥:作為各作業(yè)(晶片或玻璃基板etc)的出入口,用于空氣-腔室之間的隔斷。
    半導體?液晶屏制造裝置
    半導體?液晶屏制造裝置
    用真空門閥的應用案例介紹
    用真空門閥的應用案例介紹
    Exhaust System Gate Valve
    (Penduroll Valve)
    ·和APCPenduroll閥配合可以實現(xiàn)電導系數(shù)到0的控制。


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