| 詳細(xì)參數(shù) |
| 品牌 | 其他 | 型號(hào) | RON-705-B-18000 |
| 結(jié)構(gòu)形式 | 其他 | 安裝方式 | 其他 |
| LD指令處理器 | 其他 | 加工定制 | 否 |
由于軸帶發(fā)電裝置具有降低燃油消耗、減輕機(jī)艙噪音、節(jié)省滑油消耗、提高主機(jī)功率利用率等優(yōu)點(diǎn)，各船舶柴油機(jī)生產(chǎn)廠家和航運(yùn)公司都把研制最新的軸帶發(fā)電裝置作為自己提高效率的重要措施。以西門子公司的FRECON軸帶發(fā)電裝置為例，就有關(guān)當(dāng)今船用軸帶發(fā)電機(jī)的最新科研成果――滑環(huán)感應(yīng)式軸帶發(fā)電裝置作一下分析。
??滑環(huán)感應(yīng)式軸帶發(fā)電裝置的特點(diǎn)，具有一般軸帶發(fā)電裝置的優(yōu)點(diǎn)。自身的特點(diǎn)（1）去除了同步補(bǔ)償器，避免了同步補(bǔ)償器對(duì)整個(gè)系統(tǒng)的效率和經(jīng)濟(jì)性的影響。（2）去除了固定變頻器，使滑環(huán)感應(yīng)式軸帶發(fā)電裝置真正實(shí)現(xiàn)了完善低損耗的概念。
??理工大學(xué)所提出的理論相一致，一套三相的交流感應(yīng)機(jī)械被選用于該軸帶發(fā)電裝置。該套交流感應(yīng)機(jī)械設(shè)備已在不同標(biāo)準(zhǔn)下的風(fēng)力發(fā)電系統(tǒng)的檢驗(yàn)中得到可行性驗(yàn)證。
??這項(xiàng)研發(fā)工作的結(jié)果是產(chǎn)生了一套新的軸帶發(fā)電機(jī)系統(tǒng)，該系統(tǒng)的運(yùn)轉(zhuǎn)方式只是一個(gè)變速齒輪裝置電氣模式。它的主要優(yōu)勢(shì)在于它的最后控制單元均是由靜態(tài)元件組成的，盡管如此，它的效率卻與原來的相同，甚至在一定的運(yùn)轉(zhuǎn)范圍內(nèi)還更好一些。下面就對(duì)該軸帶發(fā)電裝置做一個(gè)介紹：主要說明傳統(tǒng)的軸帶發(fā)電機(jī)系統(tǒng)（a）與新型的滑環(huán)感應(yīng)式軸帶發(fā)電系統(tǒng)（b）的比較。裝置需要一個(gè)更小的空氣間隙和一個(gè)疊片式鼓形轉(zhuǎn)子來實(shí)現(xiàn)與軸的配合。
??滑環(huán)感應(yīng)式軸帶發(fā)電裝置的含義與運(yùn)轉(zhuǎn)方式可以看山，發(fā)電機(jī)作為帶有勵(lì)磁調(diào)節(jié)器的變流器的自激機(jī)械來運(yùn)轉(zhuǎn)的，轉(zhuǎn)子繞組的功能相當(dāng)于勵(lì)磁繞組和作為電樞繞組的定子繞組的作用。
??變頻器是通過一個(gè)直流電壓源的連接裝置工作的，它的電壓將穩(wěn)定在一個(gè)定極恒定值上。在母線側(cè)上有一個(gè)帶有兩個(gè)平行反向的連接配合標(biāo)準(zhǔn)品閘管的變流器，該母線側(cè)變流器用以調(diào)整直流電連接電壓，直流連接裝置配有平波電容器以穩(wěn)定電壓。
??在機(jī)器側(cè)，變流器帶有脈寬調(diào)制逆變器，該逆變器從恒定直流電連接電壓，產(chǎn)生要求的轉(zhuǎn)子電壓和頻率，形成發(fā)電機(jī)的最終控制環(huán)節(jié)。
??定子的頻率近似于電網(wǎng)系統(tǒng)的頻率，而電網(wǎng)頻率的設(shè)定值是由標(biāo)定頻率所決定的。旋轉(zhuǎn)頻率是根據(jù)主機(jī)的轉(zhuǎn)速而變化的且不受外界影響。因此變頻器必須根據(jù)以下的方程式調(diào)整轉(zhuǎn)子的頻率：f感應(yīng)式軸帶發(fā)電機(jī)至少得具有以下兩種功能：（1）沒有磨損的齒輪；（2）具有發(fā)電機(jī)的相應(yīng)性能。
??在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中，感應(yīng)式軸帶發(fā)電機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)速度范圍設(shè)定在螺旋槳轉(zhuǎn)速標(biāo)定值的70%～100%之間。為了使變頻器的標(biāo)定功率減少至最小值，感應(yīng)機(jī)構(gòu)的同步點(diǎn)一般設(shè)定在中心范圍內(nèi)即螺旋槳標(biāo)定轉(zhuǎn)因此，齒輪的傳送比務(wù)必被適當(dāng)?shù)卦O(shè)置，以便于發(fā)電機(jī)的同步轉(zhuǎn)速在螺旋槳額定轉(zhuǎn)速的85%下的實(shí)現(xiàn)。當(dāng)系統(tǒng)頻率為60Hz且存在6極電機(jī)，則該轉(zhuǎn)在同步點(diǎn)，通過機(jī)器轉(zhuǎn)子的電流為直流電。這樣才能以真正的同步機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)。當(dāng)轉(zhuǎn)差率為正值時(shí)，即轉(zhuǎn)子的速度低于同步速度的話，有功功率必須確保到達(dá)轉(zhuǎn)子的接線端頭。作為自激發(fā)電機(jī)，它不僅從定子端為系統(tǒng)提供動(dòng)力，而且也應(yīng)產(chǎn)生有效的轉(zhuǎn)差功率。當(dāng)轉(zhuǎn)差率是負(fù)值時(shí)，即意味著轉(zhuǎn)子的速度比同步速度要大，轉(zhuǎn)差功率來自于轉(zhuǎn)子接線端頭處。因此，裝置定子端的電流就會(huì)由于轉(zhuǎn)差功率而減少。轉(zhuǎn)差功率與轉(zhuǎn)差率及通過氣隙傳遞來的發(fā)電機(jī)的功率是成比例的。由于變頻器是在兩個(gè)方向傳輸動(dòng)力的，它的母線側(cè)變流器裝有兩個(gè)反向平行的晶閘管電橋。這兩個(gè)晶閘管電橋是由環(huán)流來進(jìn)行控制運(yùn)轉(zhuǎn)的。
?那么，在傳輸過程中由次同步到超同步的變化是通過直流電連接裝置的電壓控制來實(shí)現(xiàn)的。反之，由超同步到次同步的變化也是由直流連接裝置的電壓控制來實(shí)現(xiàn)的。
??隨著轉(zhuǎn)差率和輸入系統(tǒng)中的恒定輸出功率的減少，發(fā)電機(jī)和變頻器的負(fù)荷將會(huì)因?yàn)檗D(zhuǎn)差功率的降低而降低的?；谶@個(gè)原因，輸出功力將會(huì)增大到曲線的限定值，而發(fā)電機(jī)恰恰決定了這個(gè)值的大小?在同步中，由于變流器為保持系統(tǒng)的穩(wěn)定而向系統(tǒng)供給功率，變流器的負(fù)載也到達(dá)最小值。同時(shí)，它會(huì)因?yàn)樨?fù)轉(zhuǎn)差率的增加而重新增大。另一方面，在此情況下的發(fā)電機(jī)的功率將會(huì)進(jìn)一步地降低。因此，在超同步范圍內(nèi)，限制功率曲線是由變頻器決定。
??而且工作點(diǎn)的限制功率幾乎是工作點(diǎn)限制功率的145%.
??滑環(huán)感應(yīng)式軸帶發(fā)電裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)與控制模式，可編程序控制SIMATICS5115U可編程序控制器執(zhí)行處理所有的控制結(jié)果、互鎖以及所有設(shè)備和裝置的監(jiān)控。
??它也具有保護(hù)與報(bào)警功能，同時(shí)也具有傳統(tǒng)的報(bào)警系統(tǒng)，可以識(shí)別和監(jiān)控設(shè)備內(nèi)部出現(xiàn)的功能失?，F(xiàn)象，包括最重要的數(shù)值信號(hào)和報(bào)警。
?另外，它也儲(chǔ)存有重要的當(dāng)前運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)參數(shù)，而這些參數(shù)用于識(shí)別系統(tǒng)是否出現(xiàn)了故障。程序控制器一般安裝在變流器控制面板的前部。由中央處理器提供的界面可以連接打印機(jī)以記錄運(yùn)轉(zhuǎn)的狀態(tài)與報(bào)警情況。
?作為一種選擇，診斷模塊也可以被包括進(jìn)去。該診斷模塊是由控制器控制的，可以進(jìn)行模擬運(yùn)行實(shí)驗(yàn)和在整個(gè)裝置關(guān)斷后功能測(cè)試。電子模塊被設(shè)計(jì)成易于滑動(dòng)的式樣，便于安裝與抽取，這種模塊位于控制面板的框架里，并通過連接器連接起來。
??運(yùn)轉(zhuǎn)SIMATIC控制器與操作人員之間的交流是靠帶有鍵盤和LCD顯示器的操作器單元聯(lián)系的，該操作器被安裝固定在變流器控制面板的門上的。
??通過操作單元的相關(guān)鍵得到相關(guān)的運(yùn)轉(zhuǎn)與警報(bào)數(shù)字，并由顯示面板讀出。操作單元也可以程序設(shè)定確保測(cè)量數(shù)據(jù)，比如電流、電壓和速度等根據(jù)數(shù)值、信號(hào)及單元等被顯示出來。
??操作單元也允許相應(yīng)的諸如時(shí)間、限定值、測(cè)量范圍和操作運(yùn)轉(zhuǎn)范圍等參數(shù)根據(jù)控制結(jié)果次第變化。這些對(duì)于機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)致關(guān)重要的參數(shù)通過軟件程序的設(shè)定來實(shí)現(xiàn)互鎖，以防止由操作人員引起的意外事故。
??在可編程控制器的中央處理器的又一個(gè)界面可以通過程序的連接來完成特定意圖和任務(wù)。這就對(duì)執(zhí)行操作命令有利，只要通過改變可編程控制器和操作單元的軟件程序就可以使之完成相應(yīng)的操作指令。
?發(fā)電機(jī)控制發(fā)電機(jī)控制系統(tǒng)是由西門子公司SIMADYN和SIMAVERT系統(tǒng)的具有相當(dāng)高可靠性的（經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)檢驗(yàn)可靠的）模塊組成的。主要由模擬控制放大器、計(jì)算模塊、匹配模塊等構(gòu)成。這些模塊位于裝置設(shè)備的多層架框內(nèi)且很易于抽取和操作，而該多層框架就是位于變流器控制面板的后部。
?發(fā)電機(jī)控制的含義是在一個(gè)帶有脈寬調(diào)制逆變器的變流器的直流連接裝置上的恒定電壓的基礎(chǔ)上工作，而變流器是整個(gè)控制系統(tǒng)的最后一個(gè)環(huán)節(jié)。它包含磁場(chǎng)定向系統(tǒng)，該系統(tǒng)是由SIEMENS公司研發(fā)的，用于控制電壓和相位角，但不包括頻率控制。
??在每種情況下，特定的轉(zhuǎn)子設(shè)定頻率被計(jì)算出來，并由脈寬調(diào)制逆變器的觸發(fā)器作為一個(gè)實(shí)際頻率記錄于轉(zhuǎn)子值中的。因此，轉(zhuǎn)子的勵(lì)磁曲線總是與系統(tǒng)任意波動(dòng)狀態(tài)下的不同的系統(tǒng)頻率保持一致。這就意味著：滑環(huán)感應(yīng)軸帶發(fā)電系統(tǒng)分析（1）在母線上的設(shè)備擁有很好的頻率穩(wěn)定性，（2）系統(tǒng)中的機(jī)器與同步機(jī)器是按同一種方式運(yùn)轉(zhuǎn)的。
??然而，與同步機(jī)器相比較，發(fā)電機(jī)控制有三相轉(zhuǎn)子繞組，即有兩個(gè)軸。另外一點(diǎn)就是，脈寬調(diào)制逆變器可以使它分別設(shè)定有功轉(zhuǎn)子電流和無功轉(zhuǎn)子電流。
??滑環(huán)感應(yīng)式軸帶發(fā)電裝置的工況特性，短路特性對(duì)于軸帶發(fā)電機(jī)設(shè)備，國際上普遍認(rèn)為，持續(xù)故障電流水平至少是系統(tǒng)標(biāo)定工況下2s的3倍，沒有另外的裝置或設(shè)備的話，滑環(huán)感應(yīng)式軸帶發(fā)電機(jī)將不會(huì)滿足要求。這一問題如果得不到解決，軸帶發(fā)電機(jī)的發(fā)展將會(huì)受阻。
??這一問題被理工大學(xué)研究輔助機(jī)械和自動(dòng)化的人員提出了理論上的解決方法，并由西門子AG來予以實(shí)施，即利用適當(dāng)?shù)撵o態(tài)變流器元件及控制模塊。在這里他們也運(yùn)用了驗(yàn)證可靠、價(jià)格適中的標(biāo)準(zhǔn)器件。
??補(bǔ)充裝置按與Harz連接裝置相同的方式穩(wěn)定了電流，而且在短路的情況下確保自激電機(jī)得到要求的短路特性。它們也為脈寬調(diào)制逆變器和變流器的直流連接裝置提供了保護(hù)功能。
??諧波特性由于滑環(huán)感應(yīng)式軸帶發(fā)電機(jī)變頻器的運(yùn)轉(zhuǎn)方式，它可以產(chǎn)生諧波。電抗器和諧波濾器已被標(biāo)定以防止誤差的范圍超過額定運(yùn)轉(zhuǎn)范圍的10%.表中所給的數(shù)值均可在計(jì)算機(jī)的模擬運(yùn)行中獲得。在實(shí)驗(yàn)中所獲得的數(shù)據(jù)也與模擬運(yùn)行的結(jié)果恰好吻合。
??運(yùn)轉(zhuǎn)特性帶有有功負(fù)荷與無功負(fù)荷前向控制的磁場(chǎng)定向系統(tǒng)為滑環(huán)感應(yīng)式軸帶發(fā)電裝置提供了優(yōu)良的動(dòng)態(tài)特性。因此，由于在負(fù)載波動(dòng)上的電壓穩(wěn)定性，軸帶發(fā)電機(jī)裝置的運(yùn)行工況與帶有一個(gè)勵(lì)磁循環(huán)的西門子船用發(fā)電機(jī)一樣。
??該裝置在實(shí)驗(yàn)室測(cè)試運(yùn)轉(zhuǎn)環(huán)境中，在恒定的負(fù)之間循環(huán)變化。每一個(gè)循環(huán)持續(xù)的時(shí)間為4s.而發(fā)電機(jī)的電壓的頻率的振幅沒有傾特征。
??效率至于滑環(huán)感應(yīng)式軸帶發(fā)電機(jī)的主要優(yōu)勢(shì)或是的發(fā)展，就在于它的高效性。如圖3所示的效率曲線就是分別在運(yùn)轉(zhuǎn)速度（轉(zhuǎn)差率為-17.7%）、運(yùn)轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速（轉(zhuǎn)差率為+17.7%）和同步狀態(tài)點(diǎn)下測(cè)量和計(jì)算出來的。在與的區(qū)域范圍覆蓋了整個(gè)設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)范圍。從圖3中可以看到，在高于標(biāo)定負(fù)荷50%以上時(shí)，它的效率是92%甚至更高。
??效率的點(diǎn)為94.5%，這是在滿負(fù)荷、轉(zhuǎn)速的狀態(tài)下運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)獲得的。
?在允許齒輪機(jī)構(gòu)的功率損失在1.5%的范圍內(nèi)時(shí)，與傳統(tǒng)的軸帶發(fā)電機(jī)相比，這種感應(yīng)式的軸帶發(fā)電機(jī)的功率至少提高了七個(gè)百分點(diǎn)。
??由此可見滑環(huán)感應(yīng)式軸帶發(fā)電機(jī)相比較傳統(tǒng)的軸帶發(fā)電機(jī)，其優(yōu)勢(shì)是顯而易見的，所有的使用者都會(huì)從中受益。研發(fā)與使用該系統(tǒng)對(duì)節(jié)約人力和財(cái)力是大有裨益的。目前，軸帶發(fā)電技術(shù)雖然沒有在我國的船舶上廣泛使用，但是，隨著能源危機(jī)及各航運(yùn)公司科技技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)的逐漸加劇，相信會(huì)有越來越多的企業(yè)在該技術(shù)上投入更多的精力。我國船舶軸帶發(fā)電技術(shù)的春天將不會(huì)遙遠(yuǎn)。
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【主營產(chǎn)品】
1：Invensys Foxboro（?？怂共_）：I/A Series系統(tǒng)，F(xiàn)BM（現(xiàn)場(chǎng)輸入/輸出模塊）順序控制、梯形邏輯控制、事故追憶處理、數(shù)模轉(zhuǎn)換、輸入/輸出信號(hào)處理、數(shù)據(jù)通信及處理等。
2：Invensys Triconex: 冗余容錯(cuò)控制系統(tǒng)、基于三重模件冗余（TMR）結(jié)構(gòu)的最現(xiàn)代化的容錯(cuò)控制器。
3：Westinghouse（西屋）： OVATION系統(tǒng)、WDPF系統(tǒng)、WEStation系統(tǒng)備件。
4：Rockwell Allen-Bradley: Reliance瑞恩、SLC500/1747/1746、MicroLogix/1761/1763/1762/1766/1764、CompactLogix/1769/1768、Logix5000/1756/1789/1794/1760/1788、PLC-5/1771/1785等。
5：Schneider Modicon（施耐德莫迪康）：Quantum 140系列處理器、控制卡、電源模塊等。
6：ABB：工業(yè)機(jī)器人備件DSQC系列、Bailey INFI 90等。
7：Siemens(西門子)：Siemens MOORE， Siemens Simatic C1，Siemens數(shù)控系統(tǒng)等。
8：Motorola（摩托羅拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。
9：XYCOM：I/O 、VME板和處理器等。
10：GE FANUC(GE發(fā)那科)：模塊、卡件、驅(qū)動(dòng)器等各類備件。
11：Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服馬達(dá)、伺服驅(qū)動(dòng)器。
12：Bosch Rexroth（博世力士樂）：Indramat，I/O模塊,PLC控制器,驅(qū)動(dòng)模塊等。
13：Woodward（伍德沃德）：SPC閥位控制器、PEAK150數(shù)字控制器。
14:工業(yè)機(jī)器人系統(tǒng)備件。
HP E4401-60014 SERIAL-PARALLEL BOARD, PCB
AMAT 0100-00014 OPTO DETECT REV. J
TWO MKS HPS 325 MODUCELL VCR connection VACUUM GAUGE
3 MKS HPS 325 MODUCELL VCR connection VACUUM GAUGE
FOUR MKS HPS 325 MODUCELL VCR connection VACUUM GAUGE
Accuray MCC/IFCC I/F, part # 013509 REV: J PCB
TWO MKS HPS 325 MODUCELL VCR connection VACUUM GAUGE
PureDigital Mass Flow Controller 6256, WF6, lots of 2
BROOKS Mass Flow Controller 6256S, H2, 2SLM,?
PDL OXIDE HDSIOC 1 NOVELLUS 02-273739-00 VERSION 4.72
ISIOC PDL OXIDE 2 INTERLOCK NOVELLUS 02-269177-00, Rev1
BETTCHER PROCESS SERVICES RINSE CONTROLLER MODEL 985D
Astec Power supply MP1-3Y-2Q-4NN-00, Part # 73-690-0267
SEMI GAS SYSTEM AUTOMATIC SWITCHOVER AND CYLINDER SCALE
BROOKS Mass Flow Controller 5850, HCL3, 0-20 MLST/MIN
UESHIMA BROOKS MFC 5877 Z, BCL3, 200 SCCM
LINTEC mass flow controller LM-1100M-8, TEOS 0.1 g/min?
MICRO COMPUTER specialists, PROMDISK 66700901 REV B,?
LINTEC Liquid flow controller, TEOS, 0.1g/min?
PRI BM06241 COMP SIDE REV F PB02807 BOARD
AMAT AFC 550, H2, 30 SLPM?
UltraGlo vacuum general UV2-11 & UC2-31S01, N2
VARIAN PPM 992622, 87-195861, PCB, 40MHZ, DM992622-00
MICRO MEMORY INC MM-B500C 16K, 8201-0263-A, 91251 PCB
INTEL PBA 148492-005, 8200-0273B, NANOMETRICS 12670 PCB
NANOMETRICS INC I/O ASSY 820-0142, REV C, SVC 194V
NANOMETRICS INC I/O ASSY 820-0142 PC BOARD , SVC 194V
MISSING PULSE VME ELAS 016763 FB-B94V-0 PCB
hauppauge computer works 5403 REV A3, 94V-0 PCB
MVME 2301-900 MOTOROLA 01-W3345F, PCB
PORTER Liquid flow controller P2000-C010, 10.0 ML/MIN
PORTER Liquid flow controller, P2000IBC010&P2000I-C020
AMAT 0140-20369 Harness Assy System AC,?
AMAT 0150-20206 Harness Assy System,?
STEC MFC SEC-4400MC, N2, 100 SCCM, .
Nupro valve SS-4MX , lot's of 2?
Greene Tweed Chemraz 9275-SSE38, LAM 734-007524-275?
AMAT 0100-20040 Remote Supply Distribution PCB,?
Novellus 15-149327-00? part
MKS 390HA-00001, 1 Torr Head, look very clean
MKS 127A, Baratron 1 Torr Head, Looks Clean
MKS 141AA, Baratron 1 Torr Head, Looks Clean
10? Greene Tweed Chemraz 9904-SS513, AMAT 3700-01709
10? Greene Tweed Chemraz 9904-SS513, AMAT 3700-01709
10? Greene Tweed Chemraz 9904-SS513, AMAT 3700-01709
9? GreeneTweed Chemraz, 9904-SS513, AMAT 3700-01709
MKS Baratron Pressure Switch 51A and 41A, Lot of 5
Phasetronics P1229 Driver, AMAT 0190-05682, 2 unit
2? Greene Tweed Chemraz, 9282-SS513, AMAT 3700-02352
2? Greene Tweed Chemraz, 9282-SS513, AMAT 3700-02352
10? Greene Tweed Chemraz 9904-SS513, AMAT 3700-01709
38? Greene Tweed N017800429SS513, AMAT 3700-02353
MASS FLOW CONTROLLER MC-2100?
MASS FLOW CONTROLLER MC-4400?
MASS FLOW CONTROLLER MC-2200?
Mass Flow Meter 0258B-00500RY?
Mass Flow Meter 1258B, Argon, lots of 2?
Mass Flow Meter 1258B, N2 gas, lots of 2?
Asyst Hine Design Process Chamber Elevator 04290-201
ENI AP-400BM1 Power Amplifer/Generator AP-400
TWO Luxtron 100C M-100 Temperature Control 0190-35236
Nova NovaScan 420 Controller? 210-48000-01
ISIOC RF HCM PVD-PVD RACK NOVELLUS 02-124572-00 REV. 1
ISIOC HCM APVD NOVELLUS 02-276954-00 REV. 1
ISIOC HI-LO TRANSFER NOVELLUS 02-131736-00 REV.A
SIOC WTS-HV SIOC 0 NOVELLUS 02-123962-00 REV. A
Unit MFC UFC-1460A 1 SLM N2, Looks? with Cal paper
WATLOW WCCO-K100-0000
Aera Mass Flow Controller FC-PA780c, C4F8 and H2/N2?
SMC NP420-DN1 VV5Q11-ULB980181
AMAT 1290-01631 36-MM-MF, SES MATERIAL
AMAT 3870-00601 Solenoid H181E1-24VDC
LAM ceramic ring 716-011830-006
Aera FC-786CBA, N2, 10 SLM,?
AMAT 3300-04346 fitting TBG ADPTR 3/4-16 SAE X 9/16-18
AMAT 3300-02739 fitting hose barb 3/8id x 1/2-14MNPTF
BLUE WHITE FLOW METER 0-10 GPM 9506?
VARIAN Turbo-V 250 MACRO TORR turbo pump 969-9007S004
Previous
MKS BARATRON PRESSURE TRANSDUCER 51A13TCA2BF500
AMAT 3300-04733, water hose fitting
?NSK Precision products XY-FR-E067001 Lot's of 6
Novellus 02-103960-00 Controller Platb P166/64
ICS ADVENT OEMC-06-06 module controller
S-Span LR300 4110
AMAT 0050-10033, VRC gas line with Swagelok fitting
MDC Humphrey KIV-075-P Inline Angle Valve KF-25 NW25
Novellus 02-105005-00 ASSY,MC,P166,W/8 RS232 controller
Novellus 02-103970-00 ASSY,MOD CONT,P166/64 controller
AMAT 0020-18385 Block, Daul Gas Feed HDPCVD Ultima,?
AMAT 0100-35175 RTP Chamber Interface PCB, untested
AMAT 0150-20061 Cabel ASSY Supply Control,?
Alcab CFN 221 Controller,?
Alcab Annecy 25446 Controller,?
SVG 99-80207-02 SPIN STATION EXPANSION BOARD, REV A
BOC EDWARDS QDP 40 vacuum pump with Module, untested?
AMAT ANALOG I/O BOARD 0100-20100 APPLIED MATERIALS
AMAT ANALOG I/O BOARD 0100-20003 APPLIED MATERIALS?
Advanced Energy RFG 1250 RF Generator AE 3155027-000 S
AP1383 VER 2.8 PROD, 55-482-C, PC board
AMAT 0190-76005 Board OREGAN MICRO SYSTEMS, REV B
AMAT 0100-20003 AI/O ANALOG I/O BOARD, REV G
AMAT 0100-20100 AI/O ANALOG I/O ASSY BOARD, REV P4
AMAT 0100-20100 AI/O ANALOG I/O ASSY BOARD, REV A
, Bettcher Process Services EPO MODEL 985E-R01
SVG 80166F2-01 STATION CPU BOARD
Bentek DC PC BOARD, reliance, 03-188758-00, Novellus
?Bettcher Process Services Switch Panel MODEL 985V4
Bettcher Process Services Rinse Controller MODEL 985D
Bettcher Process Services Switch Panel MODEL 985V2-R01
BOC Edwards Dry Vacuum Pump QDP80, and Blower, untested
BOC EDWARDS QDP 40 vacuum pump with Silencer, untested?
BOC EDWARDS QDP 40 vacuum pump with Silencer, untested?
BOC EDWARDS QDP 40 vacuum pump with Silencer, untested?
BOC EDWARDS QDP 40 vacuum pump with Silencer, untested?
American Megatrends PCI Hyper Disk 795 RAID controller
AMAT 0100-200400 Remote supply distribution Board
AMAT 0100-20004 CHAMBER INTERCONNECT BOARD ASSY , REV H
HP DESC BOARD 05372-60006
MLR I/O PRI PB18220 REV C COMP SIDE PRI, BM18220L01/F
PSW-3 94V-0 REV D, ASSY 01914116 PC BOARD
MKS CONTROL VALVE TYPE 153D-4-100-2, THROTTLE VALVE
HAMAMATSU UV SPOT LIGHT SOURCE L5662
CYBOR PUMP CONTROL MODULE MODEL 505E, 505C2
Applied Materials AMAT 0100-35065 Serial Isolator PCB
AMAT 0660-01699 Convectron Module card, GP VGC 332148
AMAT 5-phase Driver UDK5128NW Oriental Motor,?
EFD 900-15 Epoxy Dispensing System, look very clean
Brooks 001-7600-02 VacuTran 5 VTR5 Transfer Robot Drive
Terranova 934 wide range vacuum gauge controller?
AMAT 0660-01699 Convectron Module card, GP VGC 332148
PARKER SOLENOID VALVE X2770005000
MKS INSTRUMENTS R750B-14606 PRESSURE TRANSDUCER
RT0399-2686. mechanical assembly, machine part
RT0300-2929 MECHANICAL ASSEMBLY
PARKER FLUID CONTROL VALVE DIV, MODEL C3DK1125, 24V DC
PRI PROGRAM MATION BM303010000/K 037 DAN BOARD
7001-5343-901
WSP-009 JAB306f 7R 319021
Previous
E237456 HK-004 94V-0
NUCLEAR MAGNETIC RESONA 70023845
VALVE RAPID EXHAUST 1/8 NPT 3870-02678
PRI BM30029000 ASSY, BD, LR-IR BUMPER-PMI
PRI BM299 5026293 705C07C3
ASSEMBLY ULTRASONIC SENSOR BM13280
LAM 685-094680-001 LIGHT PEN 0080025890 interface PCB
ASYST TECHNOLOGY P/N 01270-001, Cassette loader,?
CYBOR CONTROL MODULE 00506-05 18 VDC 10.5 AMPS?
MKS 152E-PO Pressure controller
MKS 152E-PO Pressure controller
MKS 152F-PO Pressure controller
2? KF 40 Centering Oring NW-40-CR-SV AMAT 3700-01087
TYLAN GENERAL CDL-21S06-EMC 0-100 T0RR RANGE, lots of 3
2? MKS HPS KF 50 Centering Oring SEAL, NW 50 Seal
Chemraz KF-40 Centering oring seal, Al, 60-272270-00
MKS Baratron 122BA-01000EB, 1000 Torr,?
2? KF 40 CENTERING RING, SEAL 211-992
MKS Baratron 127AA-000-1E, Range: .1 Torr
CTI ON-BOARD NETWORK TERMINAL CONNECTOR?
AMAT 0010-37163 Throttle valve assy 2 phase chamber?
Vacuum General Pressure transducer CMLA-21S06, 100 TORR
QUA TECH, PXB-721 BOARD, REV E
AMAT 0010-37163 assy, DPS Chamber throttle valve?
COMPAQ BOARD, ASSY 006047-001, REV B
?Applied Material 0010-37163 DPS Cham throttle valve
Leybold Turbotronik controller NT 340 M Turbo Pump
ATI 3D Rage Pro AGP Video Card 109-43200-10
Industrial computer source, 30045-01 BOARD, REV B
COMP SIDE PRI AUTOMATION BOARD, PB24499, REV A
PCI BOARD 736/266-01
HINE DESIGN BOARD ASSY 778-11
ProgramMation C1987-90 REV E, BM23995/H BOARD
Component Side BOARD P817755, REV C
LUMONICS EXTENDER BOARD 6050011 REV A
PC23475 BOARD COMP SIDE REV B
HP BOARD E4401-60014 SERIAL-PARALLEL
EPPENDORF DISPENSOR 4700, 50 uL, 75 uL, 100uL
Nor-Cal products 981206-2?
MKS RGA Spectra Microvsion or HPQ2 + Vacuum Controller
RGA MKS Spectra Microvsion or HPQ2 & Vacuum Controlrer
6 STEC MFC SEC-4400M, CL2, O2, SiF4,??
3 STEC MFC SEC-4400M BCl3 100 SCCM,??
2 STEC MFC SEC-4400MC N2, WF6,??
4 STEC MFC SEC-4400M Cl2, HBr,?
5 STEC MFC SEC-4400M C3F6, WF6, SiH4,?
7 STEC MFC SEC-4400M, O2, SiH4, Ar, BCl3, Cl2,?
6 STEC MFC SEC-4400M, NH3, CF4, CHF3,?
2 Porter Mass Flow LB-366 NVL-003FA 5.0 ML/min TEOS
UNIT Series 8560 MultiFlo 500 PSI MAX/ 3500 kPa
Aera FC-7810CU 20 SLM O2
FloCat GFM37S-TCDL2 HCl 0-50, L/min max 500psi/3400 KPa
LAM 839-011025-1 NuPro Manometer ISO
2 GaSonics A90-031-03 PCB Plasma/Lamp Failure Detection
?AMAT 0020-70223 Endura-Centura Chamber Blank Off
?AMAT 4020-01094 GLF 4000 VM4 4HS-P7442-0?
AMAT 0090-00513 Pressure Switch, Harness Assy
2 HP 10400A Miniature Passive Probes
MKS 122AA-01000BB, Baratron 1000 Torr
Keyence Sensor Fiber 7-39-79386, FU-51TZ (2000)
SVG 99-80266-01 Station CPU Lot of 2
20? EEJA CP-032 Vacuum, Pad, #2 E393-2506K
AMAT 1140-90114 PSU, 45W, Multi, O/P
?Eutegris Gatekeeper CE2500 KF14R Inert Gas Purifier
Leyblod Inficon Sky Capacitance Diaphragm Gauge
AMAT 0840-90137 LED Ultra Bright 8MM, Lot of 2
Aera MFC TC FC-980C, SiH4 1 SLM with Calabration SHEET
Aera MFC TC FC-980C, MULTI, MULTI-1
Aera MFC TC FC-980C, BCL3,100 SCCM
Aera MFC, 10 RA FC-980C, SiH4, 20 SCCM
Aera MFC FC-770AC Ar 200 SCCM
Aera MFC FC-770AC, N2 200 SCCM
Aera MFC, TC FC-980 PH3/He 500 SCCM 800PPM
UNIT 1660 UFC-1660 He 10 SLPM with calabration sheet
Brooks Pure Digital 6256, Mod # 6256B7BA2ADLAA
Brooks Mass Flow Controller 5964, Mod # 5964
OMEGA CN371-KC2,?
Brooks MFC 6256S, Mod # 6256SBZVCLA, Gas CH3F
NUPRO 6LV-BNBW4-O with VCR connection
Flow Meter and Pressure gauge, Norgren polycarbonate?
?MRC AlCu Target from Williams Advanced Materials
MKS 109070028CE, Vacuum gauge,?
Reliance Conductor Small D-C motors
AE RFPP LF-5 RF Generator and RFPP ATL-100RA RF Match
9? Schneider Electric Circuit breaker 20A
N-48 KEYENCE TERMINATOR 0106043 lots of 3
7? AMAT 0680-02000, CB MAG Therm, 1P
BELKIN OMNI VIEW FCKG240354 QG
2 Applied Materials 0680-00323
Schneider Electric Circuit Breaker 25A lots of 7
Schneider Electric Circuit Breaker 10A lots of 13
Schneider Electric Circuit Breaker 30A lots of 7,?
SPI Shock Proof 24-344-4, step height measurement
2? Arrow Hart 6612, locking plug, AMAT 0720-01203
FACTS Engineering T1F-16AD-2
2? AMAT 1200-90079 Relay 24 VAC 10 AMP 4DPT?
2 Applied materials 0680-01738
KEPCO Power supply RAX15-20K
AMAT 0680-00034, CB,?
KEPCO Power supply RAX48-3, 6K Lots of 3
Novellus Controller I/ 0 Daulcap Firmware Version 4.8
STEC Inc MFT-20
AMAT 0100-76124 Digital I/O PCB. , untested
Mykrolis CDL1102, 0-10 TORR lots of 2
MILLIPORE CDLD-21S06, 0-100 TORR
INFICON AG, LI-9496 Balzers, CDG100A, 100 TORR?
Vacuum general pressure transducer CML-21, 100 TORR
Comdel CLF-5000 RF Generator, Novellus 27-10140-00,?
ENI Genesis GW5002MA-F1H131-A3 3000W RF Generator W/Cal
Veeco XRF-2000AT X-Ray Measurement System
Granville-Phillips 275 MINI-convectron lots of 3?
MYKROLIS inbli flow 3XP, N2 1000SCCM lots of 2?
MYKROLIS inbli flow 3XP, NF3 5000 SCCM?
MYKROLIS inbli flow 3XP, N2, 5000 SCCM lots of 3?
MYKROLIS inbli flow, O2, 10000 SCCM?
MILLIPORE 853011054001, 0-10 TORR, 0-10 VDC,?
EDWARDS Adjustable vacuum switch VS16K, 30-1000mBar
COMDEL LFMN 8/5, novellus P/N 27-296658-00
NOVELLUS ISIOC HI-LO Transfer 02-150755-00 REV.A
ISIOC Power supply, 02-125105-00, 27-053659-00?
NOVELLUS Controller I/O DUALCAP 27-156710-00, REV.C
SMC NP420-DN1 VV5Q11-ULB000047
SMC NP420-DN1 VV5Q11-ULB980180
Wasp Bar Code Quick Scan 6000,?
TEMP CONTROLLER INR-244-402 WITH Omron BU SO4X?
Beckman BM84546, Model# 451
Fiber Optic Illuminator 190, Dolan-Jenner Indust B848
Pfeiffer Balzers TPH 170 Turbo Pumps, PMP01210D619
Barber colman Model # 7SD491030000, OMRon K3N, Screen.
Richmond Static Control, Ionization Controller.
Charles water, static survayor?
Optical fiber thermometer system model # 310
Inficon Quadrex Head selector, Model # 902-001-G1.
AMAT 0690-01037, HPS NW 50 Clamp, KF 50 clamp,?
Thornton resistivity sensor Lots of 2?
ENI OEM-6 RF Generator, ENI OEM-6AM-1B-21251, 750 Watt
ENI OEM-650A RF Generator, ENI OEM-6A-11491-52, 750 W
AMAT 0680-01251 P/N KT3250T
STEC LSC- 8410B, Liquid Source Controller, Looks clean
HP 3335A SYNTHIESIZER / LEVEL GENERATOR
AMAT 0190-13407 AE PDX RF Generator 500W, 325-375 KHz
?EDWARDS KF40 TRAPPED C/RING VITON AMAT 3700-01983
MKS BARATRON 627B152TBC1B, 500 TORR, looks very clean
?MKS, HPS, ASSY,RING.CTR.SCRN NW50
MKS BARATRON 624A21TBC, 20 TORR, CALIBRATION SHEET.
MKS BARATRON 627A12TBC, 100 TORR, CALIBRATION SHEET.
MKS BARATRON 122B-11993, 100 TORR, CALIBRATION SHEET.
?1/4 VCR CAP, Parker 4FNV-SSR
MKS BARATRON 531A11TBEH3, 1.333 KPa
?SWAGELOK VCR FITTING, SS-4-VCR-CP
ENI OEM-12A-21041-51 RF Generator, 1250W at 13.56 MHz
4 FTG TBG PLUG 3/8T HEX SST AMAT 3300-03362
STEC 4400, MFC, Ar, 2 SLM, Calibration sheet.
Trazar Corp. RF Match AMU10E-2, REV.A, P/N 27-118072-00
TECHWARE PROCESS CONTROLLER TC 3P-DX, looks very clean.
MASS FLOW CONTROLLER 5877, He, 10 SCCM lots of 2?
UNIT MFC UFC-8165, 10L, Gas N2,? in box
STEC MFC SEC-4400, Ar, 1 SLM WITH CALABRATION.
TYLAN MFC FC-270 SIH2CL2
STEC MFC SEC-4400M NH3, 1 SLM, With CALABRATION SHEET
MKS LP2-40-AK-CLVS VACUUM ISOLATION VALVE,?
MFC Mykrolis FC-2902MEP5-T, 5 SLPM, Gas N2? lot of 2
Huntigton VF-173-5 Bellow,?
MFC Mykrolis FC-2902MEP5-T, 5 SLPM, Gas N2?
MDC Isolation valve, Edward Isolation valve,?
Brooks model 5815C2G1A gas flow controller,?
MKS BARATRON 627B12TEC1B, 100 TORR, looks clean
MKS BARATRON 628B13TBE1B, 1000 TORR, CALABRATION SHEET.
MKS BARATRON 628B13TBE1B, 1000 TORR, very clean.
MKS BARATRON 629B13TBCJ1B, 1000 TORR, very clean
MKS BARATRON 122BA-00100EB, 100 TORR
EDWARDS DP80 Dry Vacuum Pump, , as is
MKS BARATRON 122BA-01000EB, 1000 TORR, 0-10 VDC OUTPUT
ADVANCED ENERGY MDX-10K and MDX-20K, lots of 16,?
ADVANCED ENERGY DC Power Supply lots of 10, , a
ADVANCED ENERGY MDX DC power supply, lots of 7
UNIT UFC - 7000 industrial MFC, H2, 1.00 SLM,?
MILLIPORE FC-2902MEP-T, SIH4, 1.5 SLMP?
Pump baldor VM3541 3/4HP & pump Head, looks clean
Item title
MILLIPORE InbliFlow, N2 and SIH4? lots of 2
MKS baratron 128AA, 1000 torr, +/- 15 VDC,? as is
Mykrolis InbliFlow DEVICE NET, N2, 10000 SCCM,?
MKS baratron 141AA, 10 torr, +24 VDC,? as is
MKS baratron 128AA, 10 Torr, +/- 15 VDC,? as is
MKS baratron 128AA, 1 Torr, +/- 15 VDC,? as is
MKS baratron 227AA, 1 TORR, +/- 15 VDC,? as is
MKS baratron 128AA, 10 TORR, +/- 15 VDC,? as is
MKS baratron 141AA, 10 Torr,? as is
EXFO Acticure A4000, Spot curing system, see pictures
BOC EDWARDS interface module, U20000521?
AMAT 0690-01037 MKS HPS KF 50 Clamps, NW 50 HINGED?
lot of 5 Novellus 03-104557-00 interface cable
ENI OEM-12B-02 RF Generator, 1250W at 13.56 MHz,??
ENI OEM-12B-02 RF Generator, 1250W at 13.56 MHz,??
ENI OEM-12B-01 RF Generator, 1250W at 13.56 MHz,??
ENI OEM-12B-1 RF Generator, 1250W at 13.56 MHz,??
Vexta 2-Phase Driver UD2115A,?
HP 5328A UNIVERSAL COUNTER
UNIT UFC-1660 CL2 200 SCCM and O2 50 SCCM, lots of 2
Self Balancing Ionizer SP4500 Auto-Ion,?
TYLAN 2900M series MFC lots of 3, and TN2900 MFC,?
Orifice 25 Micron SS-4-VCR-2, Novellus 22-284951-00
MILLIPORE inbliFlow DEVICE NET, N2, 50 ,400, 200 SCCM
MILLIPORE inbliFlow DEVICE NET, AR, N2, 100 SCCM?
10? NTE NTE5814 Si, Inductrial Rectifier, Axial Lead
Unit 8560 Series DeviceNet UFC-8565 O2 He Lot's of 8
Unit 9000 Series UFM-9660 He 6L Lot's of 3
4 Unit 8560 series UFC-8561C H2 HCL, AMAT 3030-12306
3 Unit 3000 Series DeviceNet UFC-3165, AMAT 3030-03330
COMDEL CLX-1250 RF Generator 1.75-2.15 MHz
COMDEL CLX-1250 2 MHz RF generator P/N FP1215R2
ENI GHW-12Z Genesis RF Generator 1250W, AMAT 0190-09832
Rorze Sensor Mate RS Model, looks?
Mechanical Cartridge Tester 120 Controller
Universal End Point, eP-8000 Interface
Micro 7000 Hi speed controller MCD112KIGI
Head/Disk Interference Detector 4702F
2? AMAT 0680-01029 Circuit breaker 20A 3P
?AMAT 3870-90477 PNEUMATIC PILOT VALVE?
2? AMAT 0680-02021 CB SPCL 1P 10A D-CURVE DIN MTG?
8? Tylan FC-261 N2, H2, O2?
?Vacuum Fitting Reducing Tee NW50, SST, lot's 3
18? Tylan FC-260 MFC, H2, O2, HCl, Cl2, WF6
2? Tylan FC-260 MFC, N2 100 SCCM, 4 SLPM
2 MFC Tylan FC-260, 20% HCL/N2 500 SCCM
3 Mass Flow Meter Tylan FM-360, Argon and Air, untested
?AMAT 0150-21622 EMO Jumper PLUG, CBL EBARA?
CABLES TO GO FIREWIRE CABLE D1394PER2M6C6C
Flexable gas line, Swagelok L-7-1 321-4-X-12FDR, 16 in.
Engis Hyprez Autostirrer ASP115 & ASP230 Speed control
KOMATSU ELECTRONICS DW621? IN BOX
Motion Engineering SA-NOV controller lot's of 2?
AE ADVANCED ENERGY PLASMA 3151802-003 AMAT 0920-00124
AMAT HEAT EXCHANGER AMAT 0 ENDURA SYSTEM P544
Lot of 10, Helium Neon Laser JDS Uniphase, Hughes, etc?
Moeller PKZMO-25, Motor-protective circuit breaker,?
AMAT 1350-00034, Phoenix Contact #MCR-S-10-/50-UI-DCI?
AMAT 3870-04440 Manual Valve, CKD valve MMGD-2OV-AT2-L1
AMAT 1400-00028 Sensor Photoelectric Narrow Beam 700mm?
Vat Gate Valve, heater, 64248-XE52-1108, Looks clean
Hastings Reference Tube DB-20
Hastings Reference Tube DB-20
Acculex DP-2002 Digital Panel Meter
APTech AP 1006SV 2PW MV4 MV4
2 Eye Pieces
AMAT 3880-01072 Washer Wave SPRG .4900D, Qty 52
828-36-003 Lot of 2 Pole PC, Outer, Short
Flexable gas line, Swagelok L-7-1 321-4-X-12FDR, 16 in.
PHD, 4475-19 ParentD30, 0180502-3-01 Actuator, Mini Rot
15-00567-00, Ceramic, TC
AMAT 0020-30329 SCREW 2-30056500-452
Flexable gas line, Swagelok VCR connection 38 Inches
MKS HPS Foreline Heated Jacket, 2 Straight Line,1 Elbow
Flexable gas line, 316 Swagelok VCR connection, 31 Inch
100001419 KIT, Bellows Assy, NW40
4 AMAT 0020-31296 Screw, 6-32x1/2LG Alum Vent 7/64 hex
000-6295-45 MCC 94V Board
Amphenol 10368 17-1724-1
