詳細(xì)參數(shù) | |||
---|---|---|---|
品牌 | ERT | 型號 | ERT,2K-CL6 |
類別 | 光學(xué)測量傳感器 | 制作工藝 | 金屬鏡頭模組 |
輸出信號 | 數(shù)字式 | 材質(zhì) | 鋁制 |
材料物理性質(zhì) | 密封 | 材料晶體結(jié)構(gòu) | 不可變性 |
精確度 | 14nm | 靈敏度 | 0.001 |
重復(fù)性 | 0.001 | 工作溫度 | -20-45, |
額定電壓 | 220V | 密封性 | 完好 |
線性度 | 0.003 | 加工定制 | 否 |
是否進口 | 是 | 產(chǎn)地 | 廣東 |
檢測距離 | 12mm | 光柵高度 | 4mm |
光軸間距 | 12mm | 峰值波長 | 25mm |
工作電壓 | 24v |
ERT光譜共焦傳感器測量厚度
這個模式是用來測量單層透明樣品的厚度的,傳感器找出兩個譜峰,分別是透明樣品的兩個面反射光(后向散射)形成的。如果如預(yù)期的檢測到兩個譜峰,傳感器計算出第一個面的距離和光強(前表面,即,最近的面),第二個面的距離和光強(背面),還有厚度。所有這些數(shù)據(jù)同時可以用。
重要:為了能獲得一個有效的測量數(shù)據(jù),在厚度模式下,在傳感器中應(yīng)該設(shè)置正確的折射率。
距離和光強的含義和CCI/Distance模式一樣。
Distance2和Thickness數(shù)據(jù)都取決于折射率參數(shù)。為了保證這些數(shù)據(jù)的真是性,傳感器必須設(shè)置正確的折射率。特殊的,在CCI模式下,測得的厚度和折射率參數(shù)成正比。
備注:由于折射率的存在,實際測得的Thickness和Distance2可能比測量范圍大。
5.3.1 最小可測量的厚度
待測樣品的厚度必須大于或等于所用測頭的 最小可測量的厚度 ,如果樣品厚度小于這個界限,兩個譜峰很接近使傳感器無法分辨和解析它們,所
以傳感器只能將兩個譜峰當(dāng)做一個峰值。最小可測量厚度正比于測量材料的折射率,電子目錄中的值是對于折射率為1.5的樣品來測定的。當(dāng)測量一個氣隙(折射率為1.0)時,測得的值應(yīng)該除以1.5.
5.3.2 最大可測量厚度
待測樣品的厚度必須小于或等于所用測頭的 最大可測量的厚度 。如果樣品厚度大于這個界限,兩個譜峰距離很遠(yuǎn)使得至少一個超出了測頭的量程。
最大可測量厚度正比于測量材料的折射率,電子目錄中的值是對于折射率為1.5的樣品來測定的,當(dāng)測量一個氣隙(折射率為1.0)時,測得的值應(yīng)該除以1.5。