| 詳細(xì)參數(shù) | |||
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| 品牌 | ALNAIR | 型號(hào) | SIT-200 |
天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢(shì)經(jīng)銷(xiāo)日本ALNAIR硅晶圓厚度傳感器
? 品牌名稱(chēng)：ALNAIR
? 規(guī)格型號(hào)：SIT-200
產(chǎn)品介紹
用于硅晶片的全光學(xué)非接觸式厚度傳感器
高動(dòng)態(tài)范圍，能夠測(cè)量混亂的表面
能夠在濕蝕刻過(guò)程中進(jìn)行原位測(cè)量
SIT-200使用高速掃頻可調(diào)激光器（而不是寬帶光源）來(lái)探測(cè)被測(cè)晶片。這樣就可以對(duì)每個(gè)波長(zhǎng)進(jìn)行更高功率的測(cè)量，從而實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)范圍。即使在未拋光的晶片上，例如在濕蝕刻期間/之后，也可以進(jìn)行厚度測(cè)量。硅晶圓厚度傳感器由準(zhǔn)確調(diào)諧的波長(zhǎng)掃描激光源，聚焦傳感器和光接收器（PD）構(gòu)成。波長(zhǎng)掃描光聚焦在目標(biāo)上，并且在通過(guò)傳感器后，PD會(huì)檢測(cè)到從目標(biāo)表面反射回來(lái)的干涉圖樣。
產(chǎn)品參數(shù)
測(cè)量對(duì)象：硅片
可測(cè)厚度：10~500（n = 3.5）μm
光源：波長(zhǎng)掃描激光源
（1515~1585）nm
光輸出功率：0.6，激光等級(jí)1 mW
引導(dǎo)光源：紅色LD，激光等級(jí)1M
測(cè)量時(shí)間：min.20 ms
重復(fù)性：小于0.1（3σ）μm
監(jiān)控輸出：干擾信號(hào)（電氣）
PC接口：以太網(wǎng)
電源：AC 100-240（50/60 Hz）V
尺寸（寬x高x深）：364 x 147 x 391 mm
重量：9.0 kg
我們擁有一支成熟的專(zhuān)業(yè)化團(tuán)隊(duì)，相關(guān)人員知識(shí)經(jīng)驗(yàn)豐富，近年來(lái)，得益于人才隊(duì)伍建設(shè)和科學(xué)管理實(shí)踐，我們的技術(shù)服務(wù)水平和業(yè)務(wù)拓展能力日益精進(jìn)，與多個(gè)高校和科研機(jī)構(gòu)的合作伙伴關(guān)系不斷深化，公司規(guī)模和業(yè)務(wù)范圍持續(xù)擴(kuò)大，公司競(jìng)爭(zhēng)力顯著增強(qiáng)，在太陽(yáng)能、半導(dǎo)體、生物醫(yī)療、材料加工、光通訊、國(guó)防工業(yè)、科學(xué)研究等各類(lèi)先進(jìn)制造與科研領(lǐng)域創(chuàng)造了大量的業(yè)績(jī)，為客戶(hù)輸送了眾多高技術(shù)含量、高質(zhì)量、高精度、高可靠性、高穩(wěn)定性的產(chǎn)品，同時(shí)提供了安裝、調(diào)試、培訓(xùn)、方案研究、集成開(kāi)發(fā)等綜合技術(shù)服務(wù)，因此，瑞利也得到了來(lái)自全國(guó)客戶(hù)的廣泛贊譽(yù)和認(rèn)可。
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