| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | TANISS | 型號(hào) | 6寸 |
| 類型 | 元素半導(dǎo)體材料 | 材質(zhì) | 其他 |
| 產(chǎn)品名稱 | ESC靜電卡盤E-CHUCK | 牌號(hào) | TANISS |
| 用途 | 晶圓刻蝕 | 顏色 | 其他 |
| 規(guī)格尺寸 | 6寸 | ||
靜電卡盤系統(tǒng)由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機(jī)具有漏電保護(hù)、電流過(guò)載保護(hù)及高壓脈沖保護(hù)；靜電吸附單元電極采用高頻導(dǎo)體，表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜，另外一種采用聚酰亞胺薄膜覆膜，在保證輸出穩(wěn)定，同時(shí)避免高壓靜電壓尖銳擊穿。靜電卡盤系統(tǒng)由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機(jī)具有漏電保護(hù)、電流過(guò)載保護(hù)及高壓脈沖保護(hù)；靜電吸附單元電極采用高頻導(dǎo)體，表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜，另外一種采用聚酰亞胺薄膜覆膜，在保證輸出穩(wěn)定，同時(shí)避免高壓靜電壓尖銳擊穿。