| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | ATLLasertechnik | 型號 | ATLEX-S |
| 加工定制 | 否 | 結(jié)構(gòu)型式 | 組合式 |
天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷德國ATL Lasertechnik紫外線光源ATLEX-S
產(chǎn)品型號：ATLEX-S
關(guān)鍵字：ATL Lasertechnik紫外線光源ATLEX-S
關(guān)鍵字描述：ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源，專為中低占空比S應(yīng)用而設(shè)計。
產(chǎn)品介紹：
超緊湊的尺寸
軟電暈預(yù)電離
高壓固態(tài)脈沖發(fā)生器
激光頭體積<3l
TMC（全金屬陶瓷）容器
集成真空泵和鹵素過濾器
完全風(fēng)冷，主動熱管理
RS-485，RS232，USB和光纖接口，用于系統(tǒng)集成
可沖洗光學(xué)支架
能量穩(wěn)定模式
ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源，專為中低占空比S應(yīng)用而設(shè)計。
參數(shù)：
氣體介質(zhì) ArF KrF
波長 nm 193 248
高壓開關(guān)技術(shù) 固態(tài)開關(guān) 固態(tài)開關(guān)
重復(fù)率max. Hz 300 500 300 500
脈沖能量max. mJ 10 10 15 15
平均功率max. W 2.4 4 4 6
脈沖持續(xù)時間 ns 5-8
光束尺寸（V x H） mm 4 x 6
光束發(fā)散角（V x H）mrad 1 x 2
能量穩(wěn)定性（標(biāo)準偏差）% < 3
尺寸（長x寬x高）mm 630 x 400 x 300
重量 kg 65
冷卻 空氣
電源要求 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz
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