| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號(hào) | CSF-20-120-2A-G |
| 類型 | 無(wú)級(jí)減速器 | 載荷狀態(tài) | 均勻載荷 |
| 傳動(dòng)比級(jí)數(shù) | 單級(jí) | 軸的相對(duì)位置 | 臥式減速器 |
| 傳動(dòng)布置形式 | 擺線式 | 加工定制 | 是 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 現(xiàn)貨 | 齒面硬度 | 硬齒面 |
| 布局形式 | 三環(huán)式 | 用途 | 減速機(jī) |
| 輸入轉(zhuǎn)速 | 3000rpm | 額定功率 | 360kw |
| 輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 50rpm | 許用扭矩 | 691N.m |
| 使用范圍 | 礦產(chǎn) | 減速比 | 99 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
圖形化工藝是半導(dǎo)體工藝過(guò)程中最重要的工序之一，日本HD集成伺服諧波FHA-40C-100-E250-BC它是用來(lái)在不同的器件和電路表面上建立平面圖形的工藝過(guò)程。這個(gè)工藝過(guò)程的目標(biāo)有兩個(gè)，首先是在晶圓表面上產(chǎn)生圖形，這些圖形的尺寸在集成電路或器件設(shè)計(jì)階段建立；第二個(gè)目標(biāo)是將電路圖形正確地定位于晶圓表面。整個(gè)電路圖形必須被正確地置于晶圓表面，日本HD集成伺服諧波FHA-40C-100-E250-BC它們與晶圓襯底的相對(duì)晶向，以及電路圖形上單獨(dú)的每一部分之間的相對(duì)位置也必須是正確的。
圖形化工藝是一種基本操作，在操作結(jié)束時(shí)，晶圓表面層上日本HD集成伺服諧波FHA-40C-100-E250-BC將剩下孔洞或島區(qū)。圖形化工藝也經(jīng)常被稱為光刻( Photolithography )。圖形化工藝過(guò)程主要分為光刻工藝和刻蝕工藝。
