| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號 | SHD-40-100-2SH |
| 類型 | 圓柱齒輪減速器 | 載荷狀態(tài) | 強沖擊載荷 |
| 傳動比級數(shù) | 雙級 | 軸的相對位置 | 立式加速器 |
| 傳動布置形式 | 擺線式 | 加工定制 | 是 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 現(xiàn)貨 | 齒面硬度 | 硬齒面 |
| 布局形式 | 三環(huán)式 | 用途 | 減速機 |
| 輸入轉速 | 3000rpm | 額定功率 | 111kw |
| 輸出轉速范圍 | 47.6rpm | 許用扭矩 | 22N.m |
| 使用范圍 | 軍工 | 減速比 | 45 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
半導體芯片制造工藝設備
從單晶硅片到包含有芯片的成品晶圓是復雜而漫長的過程日本HD自動清洗諧波 SHD-40-100-2SH，在這個過程使用了大量的設備，這些設備包括光刻設備（曝光、涂膜、顯影、腐蝕設備等）、清洗設備、摻雜設備（離子注入設備、擴散爐等）、氧化設備、CVD（Chemical Vapor Deb, 化學氣相沉積）設備、日本HD自動清洗諧波 SHD-40-100-2SH濺射設備、各種測試檢測設備和分析評價設備等。與所述工藝類型對應的設備基本包含了絕大部分半導體芯片制造工藝設備。
3.半導體芯片制造廠生產(chǎn)線組成
硅片制造廠生產(chǎn)線一般包括光刻系統(tǒng)、離子注入系統(tǒng)、日本HD自動清洗諧波 SHD-40-100-2SH擴散系統(tǒng)、刻蝕系統(tǒng)、薄膜系統(tǒng)、金屬化系統(tǒng)等。硅片制造廠生產(chǎn)線的布置如圖2.24所示，其中光刻系統(tǒng)的布置。
