| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號 | SHD-40-100-2SH |
| 類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 均勻載荷 |
| 傳動比級數(shù) | 雙級 | 軸的相對位置 | 立式加速器 |
| 傳動布置形式 | 分流式 | 加工定制 | 是 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 現(xiàn)貨 | 齒面硬度 | 硬齒面 |
| 布局形式 | 三環(huán)式 | 用途 | 減速機 |
| 輸入轉(zhuǎn)速 | 3000rpm | 額定功率 | 111kw |
| 輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 47.6rpm | 許用扭矩 | 22N.m |
| 使用范圍 | 軍工 | 減速比 | 432 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
濕度保持在(45±5)%；污染氣體分子保持在十億分之一以下。哈默納科自動搬運諧波SHD-40-100-2SH為了確保超凈室的清潔度，要使用能夠濾掉99. 9999%以上的微粒的化學(xué)過濾器。此外，芯片制造環(huán)境的溫度變化和振動也會損害光刻加工時的對準(zhǔn)和曝光精度。為了保證曝光機的納米級對準(zhǔn)精度，哈默納科自動搬運諧波SHD-40-100-2SH需要嚴(yán)格控制曝光機工作環(huán)境的溫度變化，并對曝光機安裝基礎(chǔ)進行隔振處理。
半導(dǎo)體制造的工程設(shè)備包括凈化室、凈化臺、晶圓標(biāo)準(zhǔn)機械接口箱、自動搬送設(shè)備和環(huán)境控制設(shè)備（超凈水制造、廢氣處理、廢液處理、精制設(shè)備、分析設(shè)備、探測器）等。哈默納科自動搬運諧波SHD-40-100-2SH另外還需要一些靜電處理與防護設(shè)備。
