| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號 | CSF-17-80-2A-R |
| 類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 強沖擊載荷 |
| 傳動比級數(shù) | 雙級 | 軸的相對位置 | 臥式減速器 |
| 傳動布置形式 | 同軸式 | 加工定制 | 否 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 現(xiàn)貨 | 齒面硬度 | 軟齒面 |
| 布局形式 | 擺線式 | 用途 | 變速機 |
| 輸入轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | 額定功率 | 360kw |
| 輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 50rpm | 許用扭矩 | 691N.m |
| 使用范圍 | 化工 | 減速比 | 342 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
如HMDS，再降回室溫。換言之，日本HD晶圓芯片諧波CSF-17-80-2A-R 芯片表面在涂敷光阻前要確保是親水性（hydrophilic）。
(2)送晶圓上真空吸附的轉(zhuǎn)臺，注入（dispensing）光阻，日本HD晶圓芯片諧波CSF-17-80-2A-R開始由低轉(zhuǎn)速甩出多余的光阻并均布之，接著以轉(zhuǎn)速數(shù)千rpm，減薄光阻至所需厚度。
(3)將晶圓表層光阻稍事烤干定型，防止沾粘。但不可過干過硬，而妨礙后續(xù)的曝光顯影。一般光阻涂布機的涂布結(jié)果是厚度不均。尤其在晶圓邊緣部份，可能厚達其它較均勻部份的光阻3倍以上。另日本HD晶圓芯片諧波CSF-17-80-2A-R外，為了確保光阻全然涂布到整片晶圓，通常注入光阻的劑量，
