| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號 | CSD-17-50-2A-R, |
| 類型 | 圓柱齒輪減速器 | 載荷狀態(tài) | 強沖擊載荷 |
| 傳動比級數(shù) | 雙級 | 軸的相對位置 | 立式加速器 |
| 傳動布置形式 | 擺線式 | 加工定制 | 是 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 樣品 | 齒面硬度 | 軟齒面 |
| 布局形式 | 三環(huán)式 | 用途 | 變速機 |
| 輸入轉(zhuǎn)速 | 3000rpm | 額定功率 | 360kw |
| 輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 50rpm | 許用扭矩 | 691N.m |
| 使用范圍 | 化工 | 減速比 | 34 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
也就是說，即使晶圓大到6或8吋，但光罩大小還是小小的1~2吋見方哈默納科光罩制備諧波CSF-17-80-2A-R ，一則光罩制備快速，二則小面積對準的問題也比較少；只是要曝滿整片晶圓，要花上數(shù)十次「對準→曝光→移位」的重復(fù)動作。但即便如此，因每次「對準→曝光→移位」僅費時1秒左右，故一片晶圓的總曝光時間仍控制在1分鐘以內(nèi)哈默納科光罩制備諧波CSF-17-80-2A-R，而保持了工廠的高投片率(highthrough-put；即單位時間內(nèi)完成制作之硅芯片數(shù)。）
晶圓上微米厚度等級的光阻，是采用旋轉(zhuǎn)離心（spin-coating）的方式涂布上去。光阻涂布機如圖2-8所示。其典型程序包括：
(1)晶圓表面前處理(pre-baking)：即在150°C下烘烤一段時間。哈默納科光罩制備諧波CSF-17-80-2A-R若表面無氧化層，要另外先上助粘劑(primer)
