| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號(hào) | CSF-17-80-2A-R |
| 類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 中等沖擊載荷 |
| 傳動(dòng)比級(jí)數(shù) | 單級(jí) | 軸的相對(duì)位置 | 立式加速器 |
| 傳動(dòng)布置形式 | 分流式 | 加工定制 | 是 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 樣品 | 齒面硬度 | 軟齒面 |
| 布局形式 | 三環(huán)式 | 用途 | 變速機(jī) |
| 輸入轉(zhuǎn)速 | 3000rpm | 額定功率 | 360kw |
| 輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 50rpm | 許用扭矩 | 691N.m |
| 使用范圍 | 化工 | 減速比 | 4543 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
微影光蝕刻術(shù)起源于照相制版的技術(shù)。自1970年起，哈默納科正負(fù)光阻諧波傳動(dòng)CSF-17-80-2A-R 才大量使用于半導(dǎo)體制程之圖形轉(zhuǎn)寫復(fù)制。原理即利用對(duì)紫外線敏感之聚合物，或所謂光阻（photo-resist）之受曝照與否，來定義該光阻在顯影液（developer）中是否被蝕除，而最終留下與遮掩罩幕，即光罩（mask）哈默納科正負(fù)光阻諧波傳動(dòng)CSF-17-80-2A-R相同或明暗互補(bǔ)之圖形；相同者稱之「正光阻」(positiveresist)，明暗互補(bǔ)者稱之「負(fù)光阻」(negativeresist)，如圖2-6所示。一般而言，正光阻，如AZ-1350、AZ-5214、FD-6400L等，其分辨率及邊緣垂直度均佳，但易變質(zhì)，儲(chǔ)存期限也較短(約半年到一年之間)，常用哈默納科正負(fù)光阻諧波傳動(dòng)CSF-17-80-2A-R于學(xué)術(shù)或研發(fā)單位；而負(fù)光阻之邊緣垂直度較差，但可儲(chǔ)存較久，常為半導(dǎo)體業(yè)界所使用。
