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一個(gè)半導(dǎo)體氣體傳感器制造商采用的基于PXI的集成化測(cè)試解決方案，該方案可提供測(cè)試所需的準(zhǔn)確性，適應(yīng)非常大規(guī)模的現(xiàn)場(chǎng)計(jì)數(shù)，并且在低成本的情況下可匹配高性能半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)的整體吞吐量性能。MOX氣體傳感器介紹MOX氣體傳感器是作為多芯片模塊(MCM)制作的微機(jī)電系統(tǒng)(微機(jī)電系統(tǒng))器件。MCM的基本組成部分是微控制器ASIC，在晶圓片上預(yù)測(cè)試，以及傳感器本身。這些組件被放置在一個(gè)共同的基板上，蓋子被放置在組件上，有一個(gè)小的孔或網(wǎng)，允許氣體進(jìn)入傳感器。

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