| 詳細參數(shù) | |||
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| 品牌 | 其他 | 型號 | 其他 |
設備特點：
該款設備是由單端封口小型紅外滑軌爐、 電機調(diào)速裝置、高真空機組、進出氣口及操作控制界面組成，內(nèi)控熱電偶用于控制RTP滑軌爐內(nèi)的溫度，伺服電機用于控制絲桿的轉(zhuǎn)動速度達到精確控制爐管（樣品）移除爐膛的速度，從而用于調(diào)節(jié)爐管（樣品）的降溫速度，與之相反可以得到較快的升溫速率；出氣口通過連接手動擋板閥、波紋管用于對石英艙體內(nèi)的真空獲取，進氣口除用于通入保護氣體或反應氣體外，還可以用于移出爐膛后通入氣體帶走熱量的快速降溫，以此獲得較高的降溫速率。
結(jié)構(gòu)與原理：
設備組成：單端封口小型紅外滑軌爐、 電機調(diào)速裝置、高真空機組、流量控制系統(tǒng)及工控電腦操作系統(tǒng)。
（1）單端封口小型紅外滑軌爐
該加熱系統(tǒng)采用國際先進制造工藝，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體爐管可實現(xiàn)自動分離，爐體上下兩半設計，氣動彈簧支撐結(jié)構(gòu)讓操作者可各角度自由打開，安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護涂層，除能夠保持其能量的最低損耗，還能增強高溫穩(wěn)定性，可有效減少熱能損耗。
該滑軌爐加熱系統(tǒng)由紅外燈管加熱，采用內(nèi)插熱電偶控溫的方式實時顯示石英腔體內(nèi)部溫度，加熱區(qū)長度為370mm，恒溫區(qū)長度200mm，確保兩個φ100*100mm的夾具可放置在恒溫區(qū)內(nèi)，為讓樣品在爐管內(nèi)的中心位置，考慮石英置物架的高度，石英管管徑綜合考慮在210mm，恒溫區(qū)200mm內(nèi)的溫場均勻性控制在±5℃，升溫速率≤30℃/s, 整個石英腔體直接劃出爐膛，樣品降溫過程可在通入一定量保護氣體的條件下快速降溫，平均降溫速率可達到2℃/s， 試樣反應區(qū)處在一個密閉的石英腔體內(nèi)，在完成工藝的同時大大降低了間接污染試樣的可能性。采用石英管堵維持爐內(nèi)的溫場均勻性及石英艙體內(nèi)的潔凈度。
（2）電機調(diào)速裝置：
伺服電機調(diào)速裝置用于控制絲桿的轉(zhuǎn)動速度，達到控制爐管部分的整體移動速度（含樣件），以此調(diào)整快速升降溫的目標速率，電機旋轉(zhuǎn)速度實時顯示并且精確可控，以獲得精確的移動速度，滿足降溫時工藝參數(shù)要求。
（3）高真空機組：
該高真空機組系統(tǒng)主要配備寧波鮑斯產(chǎn)DRV-10真空機械泵及KYKY的分子泵，空爐、冷態(tài)、潔凈、從泵啟動開始到100Pa ≤10min，壓升率≤5Pa/min。
1、 技術(shù)指標
環(huán)境溫度：5~32℃
空氣相對濕度：≤85%
工作電壓：AC220V±10% 50/60HZ
功率：1KW
系統(tǒng)整體極限真空度：5.0×10-5Pa
實驗真空度：5.0×10-3Pa
2、 主要配置
（1） 機械泵：抽氣速率：4L/S；
容油量：1.1L；
電機功率：400W；
（2） 分子泵：抽氣速率：100L/S；
極限壓強：6×10-6Pa；
啟動時間：＜2min；
額定轉(zhuǎn)速：4300轉(zhuǎn)/分
冷卻方式：環(huán)境溫度5-32℃時，風冷；
（3）復合真空計：測量路數(shù)：2路（電阻規(guī)、電離規(guī)各1路）；
工作模式：手動/自動；
電阻單元參數(shù)：
規(guī)管型號：ZJ-52T電阻規(guī)
測量范圍：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa
有效范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa
電離單元參數(shù)
規(guī)管型號：ZJ-27電離規(guī)
可測范圍：5.0Pa~1.0×10-5Pa
有效范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa
規(guī)管除氣方式：焦耳去氣
（4）流量控制系統(tǒng)：
該系統(tǒng)配置一路流量控制器，用于真空下的氣氛燒結(jié)，以及用于降溫過程中的通入一定量的氣體來達到目標降溫速率。
質(zhì)量流量控制器：流量計標準量程：1000sccm，
工作溫度：5~45℃；
工作壓差：0.1~0.5Mpa；
最大壓力：3Mpa；
準確度：±1.5% FS±1.5% FS
（5）工控電腦及操作系統(tǒng)：
該系統(tǒng)人機界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，顯示器可直接顯示真空度、氣體流量、熱電偶溫度、電機旋轉(zhuǎn)速度等信息。
（7）其他參數(shù)：
1. 底座固定采用福馬輪旋轉(zhuǎn)方式，便于固定及移動；
2. 設備高度要求操作平臺離地高度700mm， 便于平臺操作。
3. 設備石英腔體內(nèi)樣品支撐架及固定夾具托盤等相關(guān)備附件由乙方提供。
