| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | ERT | 型號 | ERT,CCS200 |
| 控制原理 | 其他 | 加工定制 | 否 |
| 用途 | 光學(xué)自動檢測測量 | 量程 | 100um-42mm |
| 精確度 | 14nm | 規(guī)格尺寸 | 直徑27mm |
| 產(chǎn)地 | 廣東 | ||
光譜共焦測量系統(tǒng)適用于3D粗糙度、尺寸測量和3D形貌測量等測量任務(wù)，廣泛應(yīng)用于以下微觀精密測量領(lǐng)域：
? 玻璃（浮法玻璃在線厚度檢測，3D測量）
? 微電子（粗糙度，3D測量，缺陷檢測）
? 機械（粗糙度，摩擦磨損，3D測量，腐蝕分析）
? 光學(xué)鏡片（粗糙度，3D測量）
光譜共焦傳感器
白色光通過一個半透鏡面到達(dá)凸透鏡。上述特殊色差就在這里產(chǎn)生。光線照射到被測物體后發(fā)生反射,透過凸透鏡，返回到傳感器探頭內(nèi)的半透鏡上。半透鏡將反射光折射到一個穿孔蓋板上，小孔只允許聚焦好的反射光通過。透過穿孔蓋板的光是一組模糊光譜，也就是說若干不同波長的光都有可能穿過小孔照在CCD感光矩陣單元上。但是只有在被測物體上聚焦的反射光擁有足夠光強，在CCD感光矩陣上產(chǎn)生一個明顯的波峰。在穿孔蓋板后面，需要一個分光器測量反射光的顏色信息。分光器類似一個特制光柵，可以根據(jù)反射光的波長，增強或減弱折射率。因此，CCD矩陣上的每一個位置，對應(yīng)一個測量物體到探頭的距離。
在整個量程上，共可以得到超過30,000個測量點。這里只計算光線波長，用以產(chǎn)生測量信號。反射光產(chǎn)生的信號波峰振幅并不在信號測量依據(jù)之內(nèi)。也就是說反射光的光強不會影響測量結(jié)果。 這意味著，無論有多少反射光從被測物體反射回來，測量的距離結(jié)果可能是不變的。因為反射光的光強僅僅取決于反射物體的反光程度。因此，采用ERT公司的光譜共焦傳感器，即使被測物體是強吸光材料，如黑色橡膠；或者是透明材料，如玻璃或者液體，都可以進行正?？煽康臏y量。
