| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | ERT | 型號(hào) | ERT-2K |
| 用途類(lèi)型 | 激光位移傳感器 | 工作原理 | 電感式 |
| 輸出信號(hào) | 模擬型 | 材質(zhì) | 金屬玻璃釉 |
| 位移特征 | 直線(xiàn)位移 | 測(cè)量范圍 | 小位移 |
| 標(biāo)稱(chēng)阻值 | 3, | 重復(fù)精度 | 14nm |
| 類(lèi)型 | 固定式 | 允許誤差 | 0.001 |
| 線(xiàn)性精度 | 0.003 | 靈敏度 | 0.001 |
| 線(xiàn)性度 | 0.003 | 遲滯 | 0.001 |
| 重復(fù)性 | 0.001 | 漂移 | 0.001 |
| 產(chǎn)地 | 歐洲 | ||
ERT光譜共焦傳感器參數(shù)選型表
(1)表中給出的數(shù)值是典型值，LHCLO，LHCL2，LHCL3，LHCL4有±3%的偏差；LHCL1，LHCL5，LHCL6有±6%的偏差；
(2)最大可測(cè)傾角是指針對(duì)鏡面反射表面時(shí)的極限角度值。漫反射表面的最大可測(cè)傾角可達(dá)87。：
(3)在量程中間位置時(shí)的光斑尺寸，靠量程近端光斑更小，靠量程遠(yuǎn)端光斑更大，從中心分別到近端遠(yuǎn)端差異10%左右；
(4)光度收集率是指由不同的測(cè)頭測(cè)量同一樣品收集的能量，是相對(duì)單位量，此表中的數(shù)值為典型值。測(cè)量高度反射的樣品時(shí)，選擇低光度收集率的型號(hào)，為了避免飽和，測(cè)量擴(kuò)散或低反射的樣品時(shí)，選擇具有高光度收集率型號(hào)，以避免一個(gè)非常低的信號(hào)與噪聲比例；
(5)軸向分辨率RMS是對(duì)靜止樣品測(cè)得的噪聲電平。在量程的中心，以最佳的速率進(jìn)行測(cè)量，內(nèi)部的平均分別設(shè)定為1-10。此參數(shù)為校準(zhǔn)后立即測(cè)量，并對(duì)應(yīng)交付每個(gè)傳感器的校準(zhǔn)證書(shū)；
(6)精度是由1nm精度的編碼器做比較校準(zhǔn)，由所述傳感器測(cè)量距離時(shí)，在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)的最大誤差。使用以下設(shè)置：自動(dòng)適應(yīng)LED模式，最優(yōu)的速度，傾角為0。，內(nèi)部平均=測(cè)量值/10。此參數(shù)為校準(zhǔn)后立即測(cè)量，并指定每個(gè)傳感器的校準(zhǔn)證書(shū)交付；
(7)最小可測(cè)量的Ra的精度取決于樣品的恃性，表中所給的值是典型的；
(8)在最佳的速度下，測(cè)量范圍的中心，測(cè)量的典型值，不加平均。折射率=1.5個(gè)樣本（測(cè)量空氣間隙應(yīng)除以1 5的厚度時(shí)）；
(9)可測(cè)半徑為測(cè)頭直徑加工作距離。
注：以上參數(shù)如有變化，恕不另行通知。
