| 項目 | 內容 |
|---|---|
| 電源 |
單相AC200～240V(±10%)； 頻率：50/60Hz 額定電壓為1.6kVA (8A電流MAX) |
| 氣源 | 不使用 |
| 接地條件 | D種接地(接地電阻值：100Ω以下) |
| 使用溫度·濕度 | 10～35℃ 35-80%RH(不結露) |
| 保存溫度·濕度 | 0～40℃、35～80%RH |
| 外形尺寸 |
910(W)×1,470(D)×1,500(H)mm (不包括突起部·信號燈) |
| 重量 | 約500KG |
| 基板搬送方向 | 右→左、左→右(通過Service Mode切換) |
| 基板搬送基準 | 前基準、后基準(通過Service Mode切換) |
| 搬送高度 |
900±20mm (可調整機器墊腳) ※使用SMEMA對應時用戶自行準備墊腳 |
| 基板上下凈高 | 基板上方50mm, 基板下方50mm |
| 基板搬送 | 傳送帶方式 |
| 傳送帶寬度調整 | 自動調整 |
| 基板搬送速度 |
150-600mm/s 使用者可自行設定搬入和搬出時的速度， 機器默認設定為200mm/s |
| 檢查 | 爐前/爐后基板檢查 |
| 照明方式 | R G B 三色Color Highlight照明 |
| 相機 | 5M 工業(yè)相機 |
| 分辨率 | 15μm、 10μm |
