| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 福潤德 | 型號 | frd-006 |
| 加工定制 | 是 | 產(chǎn)地 | 青島 |
擴(kuò)散爐主要滿足半導(dǎo)體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè)，對所加工硅片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴(kuò)散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機(jī)微控方式或者程控方式操作。
擴(kuò)散爐技術(shù)指標(biāo)： t可處理硅片尺寸：212英寸 t外型形式：臥式14管結(jié)構(gòu) t工作溫度：200℃1300℃ t恒溫區(qū)長度及精度：200mm1100mm≤±0.5℃ t單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性： ≤±1℃/24h t溫度斜變： 可控升溫速率15℃／min t可控降溫速率： 5℃／min t送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟 t氣路系統(tǒng)：15路工藝氣體／管 t氣體控制：全自動MFC t控制方式：工控機(jī)、觸摸屏