| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 哈默納科 | 型號 | SHF-40-80-2UH |
| 類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 強沖擊載荷 |
| 傳動比級數(shù) | 雙級 | 軸的相對位置 | 臥式減速器 |
| 傳動布置形式 | 擺線式 | 加工定制 | 是 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 樣品 | 齒面硬度 | 硬齒面 |
| 布局形式 | 三環(huán)式 | 用途 | 減速機 |
| 輸入轉速 | 1450rpm | 額定功率 | 15kw |
| 輸出轉速范圍 | 111rpm | 許用扭矩 | 1782N.m |
| 使用范圍 | 化工 | 減速比 | 543 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
，只是離心的徹體力效果，使光阻穩(wěn)定地、且是呈同心圓狀地向外涂布。日本HD深刻模造術諧波SHF-40-80-2UH? 根據(jù)實際使用顯示，GYRSET?只需一般涂布機的55%光阻用量。另外，其也可應用于厚光阻之涂布(厚度自數(shù)微米至數(shù)百微米不等)。受涂基板也可由晶圓改為任意的工作外型，而不會造成邊緣一大部日本HD深刻模造術諧波SHF-40-80-2UH?份面積厚度不均的花花外貌。
[注]厚光阻是新近發(fā)展出來，供微機電研究使用的材料，如IBM的SU-8系列光阻，厚度由數(shù)微米至100微米不等，以GYRSET?涂布后，經(jīng)過嚴格的烘干程序，再以紫外線或準分子雷射(excimerlaser)進行曝光顯影日本HD深刻模造術諧波SHF-40-80-2UH?后，所得到較深遂的凹狀圖案，可供進一步精密電鑄(electro-bing)的金屬微結構成長填塞。這種加工程序又稱為「仿LIGA」制程(poormansLIGA)，即「異步X光之深刻模造術」。
