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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
氮?dú)?00SCCM氣體質(zhì)量控制器 美國(guó)ALICAT氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品價(jià)格：￥9800.00元/臺(tái)
上架日期：2022-07-01
發(fā)貨地：北京 朝陽(yáng)區(qū)
供應(yīng)數(shù)量：不限
最少起訂：1臺(tái)
瀏覽量：223
詳細(xì)說(shuō)明
    詳細(xì)參數(shù)
    品牌ALICAT型號(hào)MC-200SCCM-D-N2
    原理質(zhì)量流量計(jì)用途氣體流量計(jì)
    工作壓力30適用介質(zhì)氮?dú)?/span>
    工作溫度0-50測(cè)量范圍1SCCM-500SLM
    精度等級(jí)1測(cè)量精度1
    安裝形式參考說(shuō)明書(shū)加工定制是
    外形尺寸是

            氮?dú)?00SCCM氣體質(zhì)量控制器 美國(guó)ALICAT氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器快速、精準(zhǔn)地確定穩(wěn)定的流量。與任何其它產(chǎn)品相比，我們的質(zhì)量流量控制器能夠更快地到達(dá)其設(shè)定值，使其能夠抑制管線(xiàn)壓力波動(dòng)，因而不會(huì)影響您的過(guò)程下游。定制化閥門(mén)選配項(xiàng)和出廠PID調(diào)節(jié)能確保您的MFC在具體應(yīng)用中具備良好性能。

    氮?dú)?00SCCM氣體質(zhì)量控制器 美國(guó)ALICAT氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器

        

    性能

    • 可用量程：0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）
    • 可調(diào)比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
    • 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿(mǎn)量程）
    • 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿(mǎn)量程）
    • 可重復(fù)性：0.2%滿(mǎn)量程
    • 標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
    • 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間

    氮?dú)?00SCCM氣體質(zhì)量控制器 美國(guó)ALICAT氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器

    工作條件

    • 兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
    • 工作溫度：-10°C至+60°C
    • 內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
    • 耐受壓力：175 psig（190 psia）

    包裝清單


    氮?dú)?00SCCM氣體質(zhì)量控制器 美國(guó)ALICAT氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器

    配件（需另行訂購(gòu)）


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