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ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 上海ALICAT辦事處可燃?xì)怏w質(zhì)量流量控制器性能

• 可用量程：0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見零件編號標(biāo)簽）
• 可調(diào)比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
• 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
• 可重復(fù)性：0.2%滿量程
• 標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器響應(yīng)時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
• 無需預(yù)熱時間

ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 上海ALICAT辦事處可燃?xì)怏w質(zhì)量流量控制器工作條件

• 兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）

包裝清單

• MC系列氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
• NIST可溯源校準(zhǔn)證書
• 艾里卡特操作說明書