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PI 高動態(tài)壓電納米定位系統(tǒng)P-630系列

1軸大光圈
諧振頻率高達 3.25 kHz
行程范圍達 80 μm
窄而扁平的設(shè)計
通光孔徑 30 mm 直徑

應(yīng)用領(lǐng)域
光學(xué)對準
顯微鏡
生物技術(shù)
光子學(xué)
光纖定位

電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，無需接觸。它們保證了出色的運動線性度、長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。

自動配置和快速組件更換
機械裝置和控制器可根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械裝置的 D-sub 連接器的 ID 芯片中。每次打開控制器時，數(shù)字控制器的自動校準功能都會使用此數(shù)據(jù)。

適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用
壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。操作不需要潤滑劑或油脂。不含聚合物的壓電系統(tǒng)允許特別低的釋氣率。

PICMA 壓電執(zhí)行器具有出色的使用壽命
獲得專利的PICMA壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受因漏電流增加而導(dǎo)致的潮濕和故障。PICMA 執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍。證明了 1000 億次循環(huán)而沒有一次故障。

零間隙撓性導(dǎo)軌帶來高導(dǎo)向精度
撓性導(dǎo)軌無需維護、摩擦和磨損，也不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且它們對沖擊和振動不敏感。它們是 真空兼容的，可在很寬的溫度范圍內(nèi)工作。

直接位置測量帶來的精度
運動在運動平臺上直接測量，不受驅(qū)動或?qū)蛟娜魏斡绊?。這可以實現(xiàn)的可重復(fù)性、出色的穩(wěn)定性以及剛性、快速響應(yīng)的控制。

PI 高動態(tài)壓電納米定位系統(tǒng)P-630系列