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PI 帶超聲波壓電電機的緊湊型線性平臺U-523 PILine

快速定位
節(jié)省空間和輕便
導(dǎo)向精度高
10 nm 的高傳感器分辨率
自鎖，靜止時不發(fā)熱
低噪音運行

精密級線性定位平臺
PILine® 平臺特別適用于需要快速精確定位的應(yīng)用。關(guān)閉時，自鎖驅(qū)動器使載物臺的位置保持機械穩(wěn)定。因此，能源消耗和熱量產(chǎn)生大大減少。電池供電或熱敏感的低占空比應(yīng)用受益于這些特性。軸的位置由編碼器測量，光學(xué)參考開關(guān)允許可靠的可重復(fù)運動。壓電電機驅(qū)動原理及其電氣操作價格低廉，可以定制。

使用增量線性編碼器進行高精度位置測量
非接觸式光學(xué)編碼器直接在平臺上以精度測量位置。非線性、機械間隙或彈性變形對測量沒有影響。

PILine ®超聲波壓電馬達
PILine® 超聲波壓電馬達的一個組成部分是一個壓電執(zhí)行器，它通過一個耦合元件預(yù)加載到一個可移動的導(dǎo)向流道上。壓電陶瓷致動器被 100 到 200 kHz 之間的高頻交流電壓激發(fā)到超聲波振蕩。致動器的變形導(dǎo)致耦合元件相對于轉(zhuǎn)輪的周期性對角運動。每個周期產(chǎn)生的進料為幾納米；高頻率導(dǎo)致高速度。將壓電陶瓷執(zhí)行器預(yù)加載到轉(zhuǎn)輪上可確保驅(qū)動器在靜止和關(guān)閉時自鎖。

應(yīng)用領(lǐng)域
顯微操作、自動化、生物技術(shù)、樣品操作、樣品定位、空間有限的應(yīng)用、10 -6 hPa 的真空應(yīng)用（可選）。

PI 帶超聲波壓電電機的緊湊型線性平臺U-523 PILine