| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | MKS | 型號 | MKS |
| 材質(zhì) | 玻璃 | 泵軸位置 | 臥式 |
| 葉輪吸入方式 | 單吸式 | 驅(qū)動方式 | 磁力 |
| 性能 | 變頻 | 用途 | 管道泵 |
| 原理 | 齒輪泵 | 輸送介質(zhì) | 清水泵 |
MKS真空計901P-42030
產(chǎn)品型號：901P-42030
關(guān)鍵字：MKS真空計901P-42030
關(guān)鍵字描述：901P-42030微型Pirani-Piezo負載鎖定真空傳感器結(jié)合了Piezo和MicroPirani傳感器技術(shù)，與傳統(tǒng)的熱導儀相比，其穩(wěn)定性，可重復性和響應(yīng)時間顯著提高。
產(chǎn)品介紹：
901P-42030微型Pirani-Piezo負載鎖定真空傳感器結(jié)合了Piezo和MicroPirani傳感器技術(shù)，與傳統(tǒng)的熱導儀相比，其穩(wěn)定性，可重復性和響應(yīng)時間顯著提高。它具有0.00001-1000 Torr壓力測量范圍，可進行大氣壓切換，并帶有4VCR內(nèi)螺紋接頭。它使用RS485數(shù)字通訊接口設(shè)置傳感器參數(shù)并提供實時壓力測量。901P專為真空負載鎖內(nèi)的壓力測量而設(shè)計。它具有從大氣壓到10 -5的壓力測量值，可以代替負載鎖上的多個壓力測量設(shè)備r和大氣切換功能。與傳統(tǒng)的負載鎖設(shè)計中使用的壓力計相比，901P的大氣壓力測量可以通過縮短循環(huán)時間來提高負載鎖性能，并防止負載鎖被大氣污染。901P結(jié)合了壓力測量和差壓測量技術(shù)，以提供性能和功能。與氣體無關(guān)壓力測量值，范圍從50 -1000 Torr，比導熱系數(shù)傳感器提高了準確性。與傳統(tǒng)的Pirani壓力計不同，MicroPirani中的傳感器元件是由一個1平方毫米的硅芯片制成的，因此可以在很小的體積內(nèi)進行測量。由于采用了MicroPirani技術(shù)，901P可以讀取低至10 -5的壓力比標準的皮拉尼傳感器低二十年的托爾。傳感器設(shè)計使對流的影響小化，隨后901P可以以任何方向安裝而不會影響精度。901P還具有1VDC / decade的模擬壓力輸出，可以將其連接到外部模擬設(shè)備以進行壓力讀數(shù)或控制。可以通過數(shù)字用戶界面選擇其他模擬輸出和曲線。可選的輔助模擬輸出用于提供壓差測量。901P多具有三個機械繼電器，可用于過程控制，例如互鎖隔離閥和真空泵。每個設(shè)定點都可以分配給差分壓電測量或組合MicroPirani/壓電測量。
參數(shù)：
絕對測量范圍：1.0 x 10 -5至1500
差分測量范圍：-760至+760
類型：真空傳感器
界面：RS485 /模擬
設(shè)定點范圍：5.0 x 10 -4托至1000托 差分：-760至100托
標定氣體：空氣，氬氣，氦氣，氮氣，H2，H2O蒸氣，CO2，氙氣，氖氣
工作溫度：0-40°C（32-104°F）
烘烤溫度（max.）：85°C（185°F）
模擬量輸出:1-9 VDC
模擬輸出分辨率:16位
壓電微分零穩(wěn)定性滿量程的±0.1％（滿量程= 760托）
超壓極限1500托
電子套管和法蘭304不銹鋼
模擬輸出2分辨率12位
數(shù)字波特率4800-230400波特
