| 詳細(xì)參數(shù) | |||
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| 品牌 | 其他 | 型號(hào) | S-3400 |
| 類型 | 掃描電子顯微鏡 | 加工定制 | 是 |
| 用途 | 電子掃描儀 | 重量 | 200KG |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
Hitachi S-3400N
一、日立掃描電子顯微鏡S--3400N型的特點(diǎn)
1.?S-3400N具有強(qiáng)大的自動(dòng)功能，包括自動(dòng)燈絲飽和、4偏壓、自動(dòng)槍對(duì)中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸自動(dòng)聚焦和消像散、自動(dòng)亮度對(duì)比度等。
2.?在3kV低加速電壓時(shí)保證有10nm的分辨率。
3.?新型5分割高靈敏半導(dǎo)體式背散射探頭。
4.?S-3400N II型具有五軸馬達(dá)臺(tái)，傾斜角度可達(dá)-20度~+90度，樣品zui高可達(dá)80mm。
5.?分析樣品倉可以同時(shí)安裝EDX?，?WDX?及EBSD。
6.?真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵，潔凈、高效。
真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵，潔凈，高效。
二、日立掃描電子顯微鏡S--3400N型的技術(shù)指標(biāo)
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項(xiàng)目 |
描述 |
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SE分辨率 |
3.0nm (30kV)，高真空模式 |
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BSE分辨率 |
4.0nm (30kV)，低真空模式 |
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放大倍率 |
x5 ~ x300,000 |
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加速電壓 |
0.3 ~ 30 kV |
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低真空范圍 |
6 ~ 270 Pa |
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zui大樣品尺寸 |
直徑200mm |
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樣品臺(tái) |
I型 |
II型 |
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X |
0 ~ 80mm |
0 ~ 100mm |
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Y |
0 ~ 40mm |
0 ~ 50mm |
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Z |
5 ~ 35mm |
5 ~ 65mm |
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R |
360o |
360o |
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T |
-20o~ +90o |
-20o ~ +90o |
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zui大樣品高度 |
35mm (WD=10mm) |
80mm (WD=10mm) |
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驅(qū)動(dòng)類型 |
手動(dòng) |
五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
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燈絲 |
預(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
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物鏡光欄 |
可移動(dòng)式4孔物鏡光欄 |
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槍偏壓 |
固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏 |
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檢測(cè)器 |
二次電子檢測(cè)器 |
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分析位置 |
WD=10mm, TOA=35o |
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控制 |
鼠標(biāo)、鍵盤，手動(dòng)旋鈕 |
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自動(dòng)調(diào)校 |
自動(dòng)燈絲飽和、自動(dòng)4偏壓、自動(dòng)槍對(duì)中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦消像散、自動(dòng)亮度對(duì)比度 |
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