詳細(xì)參數(shù) | |||
---|---|---|---|
品牌 | ERT | 型號 | ERT-CCS-100 |
用途類型 | 激光位移傳感器 | 工作原理 | 激光式 |
輸出信號 | 模擬型 | 材質(zhì) | 金屬玻璃釉 |
位移特征 | 直線位移 | 測量范圍 | 小位移 |
重復(fù)精度 | 200nm | 類型 | 固定式 |
允許誤差 | ,3, |
ERT光譜共焦原理的優(yōu)點(diǎn):
全息性:理論上每一束返回光譜分析儀的光線都用它的波長攜帶了距離信息,部分光被遮擋影響小。
無陰影效應(yīng):光從四面八方照射到樣品,激光原理一個方向被遮擋無法測量的區(qū)域,共焦更容易解決。
可以測量各種表面:鏡面、彎曲或傾斜的鏡面、粗糙面、透明、液滴表面等的測量都變得容易。
高分辨率:理論上波長可以無限細(xì)分,理想鏡頭具有無限分辨率。
溫度穩(wěn)定性好:鏡頭本身不發(fā)熱,溫度漂移小。對于微米以及亞微米級的測量,溫度穩(wěn)定是很關(guān)鍵的。
自動聚焦:在量程范圍內(nèi),被測物的位置上下變動時都有相應(yīng)的波長的光聚焦到物體表面。
橫向分辨率高:測量光斑小,而且總是在焦點(diǎn)上,能分辨被測物上的微小輪廓變化。
模塊化小型化:鏡頭和解碼部分可以通過光纖連接,傳輸距離遠(yuǎn),鏡頭可以做得很小。
調(diào)頻抗干擾:波長是調(diào)頻信號,對光強(qiáng)變化等調(diào)幅干擾不敏感。光纖對電磁干擾、雷電浪涌不敏感。
透明材料厚度測量:當(dāng)被測物透明且有兩個表面,就會有兩個波長的光返回得到厚度值。
安全性高:長壽命的LED光源,微小功率的白光,比激光對人眼更安全,不受限于激光危害等級。
高防護(hù):控制器高防護(hù)等級,光纖可提供不銹鋼外套版本,防蟲害鼠咬。
維護(hù)和服務(wù):模塊化光源,一分鐘快速更換。國內(nèi)技術(shù)和配套支持,保修、維護(hù)、校準(zhǔn)方便。
產(chǎn)品系列1
安裝距離:11mm
量程:±200
線性度:±0.025%F.S.
分辨率:10nm
光斑:10um
產(chǎn)品系列2
安裝距離:12.7mm
量程:±650
線性度:±0.025%F.S.
分辨率:20nm
光斑:12um
產(chǎn)品系列3
安裝距離:19mm
量程:±2000
線性度:±0.025%F.S.
分辨率:40nm
光斑:20um
產(chǎn)品系列4
安裝距離:24mm
量程:±5000
線性度:±0.025%F.S.
分辨率:300nm
光斑:25um