| 詳細(xì)參數(shù) | |||
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| 品牌 | 華偉 | 型號 | 其他 |
| 產(chǎn)品用途 | 用于光刻膠測試,中小規(guī)模集成電路,半導(dǎo)體元器件 | 產(chǎn)品別名 | 實(shí)驗(yàn)室光刻機(jī)光柵光刻機(jī)集成電路光刻機(jī)光刻設(shè)備 |
| 適用行業(yè) | 用于光刻膠測試,中小規(guī)模集成電路,半導(dǎo)體元器件 | 規(guī)格尺寸 | 615,415,615mm |
| 產(chǎn)地 | 河北保定市 | ||
HWGK0133X-18紫外線光刻箱，配備電子電源，無級調(diào)光，主要用于光刻膠測試，中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和小批量生產(chǎn)測試。無紫外線泄露，可以好的保護(hù)人體不受紫外線傷害的UV光刻箱，自動旋轉(zhuǎn)托盤，多角度平行光照射，無照射盲區(qū)。
設(shè)備組成
UV光源+光刻箱+自動轉(zhuǎn)盤+電源控制器
采用模塊型設(shè)計
采用模塊型設(shè)計，可手持、固定、箱式使用。
UV燈頭
包含一個長壽命的高壓汞燈，發(fā)射出UVA（300-400nm），主光強(qiáng)度分布均勻。燈泡壽命為1000小時。
UV光刻箱
設(shè)備包含光刻箱，帶有箱門，開關(guān)方便，在元件的光刻過程中，能夠保護(hù)用戶免受紫外輻射。
內(nèi)置遮光型手動快門（工作時無紫外線泄露）
設(shè)備集成可伸縮遮光型手動快門，確保光刻的優(yōu)良重復(fù)性，保護(hù)用戶開關(guān)光刻箱門時免受紫外輻射。
可調(diào)速自動旋轉(zhuǎn)托盤
設(shè)備集成可調(diào)速自動旋轉(zhuǎn)托盤，光刻效果更好,更徹底。
無級變光(光強(qiáng)可調(diào)）
燈管發(fā)光強(qiáng)度可以40%~100%，無級調(diào)節(jié)燈光強(qiáng)度，特別適合科研和工業(yè)生產(chǎn)。
反光內(nèi)壁
光刻箱內(nèi)有反光的內(nèi)壁結(jié)構(gòu)以及優(yōu)化設(shè)計的反光鏡，可保證達(dá)到均勻照射效果。
強(qiáng)制風(fēng)冷系統(tǒng)
光源、電源、光刻箱都集成冷卻風(fēng)扇，使得系統(tǒng)在散熱良好的環(huán)境工作，增加了系統(tǒng)可靠性。
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類別 |
項(xiàng) 目 |
參 數(shù) |
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尺寸 |
外型尺寸（L×W×H） |
615×415×615mm |
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光刻箱內(nèi)（L×W×H） |
330×345×330mm |
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燈管 |
燈管名稱 |
高壓汞燈 |
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功率 |
450~1700W 無級調(diào)光 |
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極限功率密度 |
<250mw/cm2 |
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波峰值 |
365nm |
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曝光面積： |
≥φ150mm |
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旋轉(zhuǎn)托盤 |
功率 |
10W |
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低速度 |
1圈/分鐘 |
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高速度 |
6圈/分鐘 |
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箱內(nèi)托盤 |
360度旋轉(zhuǎn)，速度可調(diào) |
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電源 |
電源需求 |
220V |
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整機(jī)功率 |
1800W |
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重量 |
光刻箱體 |
29KG |
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電源箱 |
4KG |
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燈箱 |
5KG |
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總重量 |
38KG |