冷鏡式露點(diǎn)儀不同水份含量氣體在不同溫度下鏡面上會(huì)結(jié)露。采用光電，出露層并測(cè)量結(jié)露時(shí)溫度，直接顯示露點(diǎn)。鏡面制冷有：半導(dǎo)體制冷、液氮制冷和高壓空氣制冷。冷鏡式露點(diǎn)儀采用是直接測(cè)量，在保證檢露準(zhǔn)確、鏡面制冷率和精密測(cè)量結(jié)露溫度前提下，該種露點(diǎn)儀可作為露點(diǎn)儀。上精度±01℃露點(diǎn)溫度，如歐伯特S8000，S4000、OptidewVision、Optidew等，精度可±05℃以內(nèi)。
進(jìn)展綜合隨著科學(xué)，人們紛紛把光電、新材料、紅外、微波、微電子、光纖、聲波甚至到氣體中水份測(cè)量，使水份測(cè)量這一古老煥發(fā)出青春在測(cè)量上，人員鏡面結(jié)露是直接且精度。鏡面露點(diǎn)儀在上將引進(jìn)近代成份。如們研制冷鏡式激光露點(diǎn)儀首次采用激光準(zhǔn)直和CCD，在露層判別、露霜像識(shí)別上走到前沿。人員在傳統(tǒng)傳感器材料（如氧化鋁材料、氯化鋰材料、高分子材料和材料）基礎(chǔ)上，用完全不同手段，陸續(xù)出許多間接測(cè)量氣體中微量水份方式，不同和不同環(huán)境中微水份測(cè)量。氣體中微量水份測(cè)量歷來(lái)是較難一門(mén)。說(shuō)，直到上還沒(méi)有成熟完善手段能工況環(huán)境下微量水測(cè)量。在近代之后，也只能說(shuō)針對(duì)某一特定環(huán)境，采用某一項(xiàng)手段，某種程度（包括和精度）微水份測(cè)量。
在藥，電子，卷煙，紡織，軍工等許多受控環(huán)境下，大量采用相對(duì)濕度傳感器對(duì)環(huán)境濕度進(jìn)行監(jiān)測(cè)。受環(huán)境因素影響，以傳感器本身材料特性所決定，電容式相對(duì)濕度傳感器都存在漂移危險(xiǎn)，這使得某些關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)濕度不是受控。冷鏡是基本濕度測(cè)量，對(duì)露點(diǎn)進(jìn)行直接測(cè)量。冷鏡式露點(diǎn)儀是精度高，響應(yīng)快，反應(yīng)敏捷，重復(fù)性，做到‘零’漂移；通過(guò)冷鏡式露點(diǎn)儀參與環(huán)境控制，有十足信心確保關(guān)鍵環(huán)節(jié)濕度盡在掌握之中。