半導(dǎo)體氣體傳感器可分為電阻型和非電阻型結(jié)型、MOSFET型、電容型。電阻型氣敏器件是氣體分子引起敏感材料電阻變化;非電阻型氣敏器件有Ms二極管和結(jié)型二極管以場(chǎng)效應(yīng)管MSFET,它利用敏感氣體會(huì)改變MOSFET開啟電壓,其與ISFET離子敏傳感器件相同。
1、靈敏度
可見,在一定溫度下,固定PO21,有上式可出傳感器極待測(cè)氧氣濃度。除測(cè)氧外,β一Al2O3、碳酸鹽、NASICON等固體電解質(zhì)傳感器,還可用來(lái)測(cè)CO、SO2、NH4等氣體。近年來(lái)還出現(xiàn)銻酸、La3F等可在低溫下氣體傳感器,并可用于正離子。
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