人們已經(jīng)發(fā)現(xiàn)SnO2、ZnO、Fe2O3、Cr2O3、MgO、NiO2等材料都存在氣敏效應(yīng)。用這些金屬氧化物制成氣敏薄膜是阻抗器件，氣體分子和敏感膜之間能交換離子，發(fā)生還原反應(yīng)，引起敏感膜電阻變化。作為傳感器還要這種反應(yīng)必須是可逆，即為氣體分子還必須發(fā)生一次氧化反應(yīng)。傳感器內(nèi)加熱器有助于氧化反應(yīng)進(jìn)程。
非電阻型也是一類較為常見半導(dǎo)體氣敏器件，這類器件方便，無需設(shè)置溫度，易于集成化，得到廣泛。有結(jié)型和MOSFET型兩種。
同體電解質(zhì)在高溫下才會有明顯導(dǎo)電性。氧化鋯ZrO2是典型氣體傳感器材料。純正氧化鋯在常溫下是單斜晶，當(dāng)溫度升到1000℃左右時就會發(fā)生同質(zhì)異晶轉(zhuǎn)變，由單斜晶變?yōu)槎嗑?，并伴隨體積收縮和吸熱反應(yīng)，因此是。在ZrO2中摻入穩(wěn)定劑如：堿土氧化鈣CaO或稀土氧化釔Y2O3，使其成為穩(wěn)定熒石立方晶體，穩(wěn)定程度與穩(wěn)定劑濃度有關(guān)。
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