光譜共焦傳感器既可以在工業(yè)環(huán)境中實現(xiàn)在產品生產過程中在線檢測,也可以在實驗室中用作高精密儀器。
其主要應用有:
. 顯微成像(測試樣品形貌)
.維度控制(測試工業(yè)產品的某些特征是否符合標準)
.品質管理(對工業(yè)產品缺陷的識別和標記)
.粗糙度測量(測量樣品表面的統(tǒng)計特征)
.摩擦學(機械侵蝕和化學腐蝕特性)
. 厚度測量
光譜共焦傳感器完全和關于表面紋理的3D測量和分析的ISO25178標準兼容。此外,這個標準的601部分,專用來講述關于非接觸式測量的,引用CCI(色散共焦成像)作為第一參考技術。色散共焦傳感器可以測量幾乎任何類型材料(玻璃,陶瓷,塑料,半導體,金屬,紡織品,紙,皮革……)制成的樣品。能夠測量拋光表面(鏡子,鏡頭,晶片)也能測量粗糙表面。
. 測頭的光學特性,特別是光斑尺寸,軸向分辨率和最大傾角應該和被測量樣品呈現(xiàn)的尺寸,傾角相合適。
.金屬物體應該用CL1或者CL2測頭測量,特別是測量粗糙度時或者實際應用需要高的分辨率。
當用光斑更大些的測頭測量金屬物體時,它的測量可能達不到規(guī)定。精度下降多少取決于金屬表面的微觀結構。