ERT光譜共焦傳感器是一種精度可達(dá)次微納米量級的非接觸式位移量測系統(tǒng)， 可精準(zhǔn)測量漫反射/鏡面反射及透明多層材質(zhì)的位移,厚度,也適合深孔/盲孔工件等運(yùn)用。
光譜共焦傳感器優(yōu)勢及特點(diǎn)：
1、穩(wěn)定量測各類材質(zhì)，例如金屬/陶瓷/鏡面/玻璃等。
2、適用于各種形貌（包含深孔/斜面/弧面）之特征尺寸量測，例如高度/段差/厚度/平面度/輪廓度等。
3、高溫高壓等嚴(yán)苛操作條件下亦能適應(yīng)正常使用。
4、測頭結(jié)構(gòu)輕巧，易整合于各行業(yè)之自動化測量應(yīng)用。
5、結(jié)構(gòu)輕巧且內(nèi)部不含電子零件而不受環(huán)境干擾影響。
6、獨(dú)特多層材質(zhì)量測算法,可量測透明／半透明多層材質(zhì)間之厚度或間隙。
一站式自動化測量
適用多種高精度測量場景
光譜共焦測量系統(tǒng)適用于3D粗糙度、尺寸測量和3D形貌測量等測量任務(wù)，廣泛應(yīng)用于以下微觀精密測量領(lǐng)域：
? 玻璃（浮法玻璃在線厚度檢測，3D測量）
? 微電子（粗糙度，3D測量，缺陷檢測）
? 機(jī)械（粗糙度，摩擦磨損，3D測量，腐蝕分析）
? 光學(xué)鏡片（粗糙度，3D測量）
? 鐘表制造（平面度，粗糙度，厚度）
? 核能燃料（粗糙度，摩擦磨損，3D測量，腐蝕分析）