厚度模式是一個(gè)附加的測(cè)量模式，專(zhuān)門(mén)用來(lái)測(cè)量透明樣品的厚度。
這種模式下傳感器同時(shí)測(cè)量透明樣品兩面的位置，然后通過(guò)兩個(gè)位置的不同計(jì)算出厚度。測(cè)量厚度比測(cè)量位移更難，精確度也下降。厚底測(cè)量也受一些限制。為了獲得在該模式下的計(jì)量性能，應(yīng)該執(zhí)行一個(gè)特殊的叫做“厚度校準(zhǔn)”的程序。厚度校準(zhǔn)是用戶來(lái)執(zhí)行的。這個(gè)過(guò)程需要一個(gè)厚度標(biāo)準(zhǔn)。
測(cè)量數(shù)據(jù)
在樣品的每一個(gè)點(diǎn)傳感器都要同時(shí)測(cè)量幾個(gè)數(shù)據(jù)。 在位移測(cè)量模式下測(cè)量數(shù)據(jù)有：
√被測(cè)樣品點(diǎn)的距離
√反回的散射光束的光強(qiáng)
在厚度模式下測(cè)量數(shù)據(jù)有：
√樣品第一個(gè)面的距離和光強(qiáng)
√樣品第二面的距離和光強(qiáng)
√厚度
除了測(cè)量數(shù)據(jù)外傳感器還傳出一些附加數(shù)據(jù)（計(jì)數(shù)，狀態(tài)……）
傳感器可以設(shè)置傳輸一些或全部這些數(shù)據(jù)