光譜共焦傳感器位移模式是專門用來測試樣品表面點(diǎn)的高度的。
位移數(shù)據(jù)使用30比特的數(shù)字分辨率傳輸?shù)摹?/span>
當(dāng)測量一個(gè)不透明樣品（金屬，紙，陶瓷……）剖面高度時(shí)，使用位移模式就很直觀簡單。
當(dāng)測量薄的透明樣品或者有涂層樣品時(shí)，就會發(fā)生傳感器同時(shí)得到兩個(gè)信號的情況：涂層表面反射一個(gè)信號，底層反射第二個(gè)信號。
傳感器默認(rèn)選擇最強(qiáng)的信號并且忽略其它收到的信號，不管其譜峰的相對位置。在一些應(yīng)用中這種處理不是最佳：在上面的例子中，底層材料的反射率一般比涂層的反射率強(qiáng)，而我們可能需要測量的是涂層表面。高級主題會給出第一峰模式的在這種應(yīng)用中的解決方法。