光譜共焦測(cè)量技術(shù)與傳統(tǒng)三角測(cè)量法的主要區(qū)別
光譜共焦測(cè)量系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于以下微觀精密測(cè)量領(lǐng)域:
? 玻璃(浮法玻璃在線(xiàn)厚度檢測(cè),3D測(cè)量)
? 微電子(粗糙度,3D測(cè)量,缺陷檢測(cè))
? 機(jī)械(粗糙度,摩擦磨損,3D測(cè)量,腐蝕分析)
? 光學(xué)鏡片(粗糙度,3D測(cè)量)
? 鐘表制造(平面度,粗糙度,厚度)
? 核能燃料(粗糙度,摩擦磨損,3D測(cè)量,腐蝕分析)